【課題】背面電極内に光透過部をパターン形成することによって光透過部を通して太陽光が透過されるようにし、従来の薄膜型太陽電池に比べて光透過領域が増加し、ガラス窓の代用とするのに充分な可視圏を確保できる薄膜型太陽電池を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に所定間隔離間して形成される前面電極と、前面電極上にコンタクト部または分離部を介在して離間して形成される半導体層と、コンタクト部を通じて前面電極と連結され、分離部を介在して離間して形成される背面電極と、を含んでなり、ここで、光透過領域を増大させるために、所定部分に光透過部が設けられるように背面電極がパターン形成されたことを特徴とする薄膜型太陽電池及びその製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板上に所定パターンで形成された第１電極；前記第１電極上に形成された第１半導体層；前記第１半導体層上に所定パターンで形成された第２電極；前記第２電極上に形成された第２半導体層；及び前記第２半導体層上に所定パターンで形成された第３電極を含み、前記第１電極と前記第３電極は電気的に連結される薄膜形太陽電池、及びその製造方法に関する。
【解決手段】第１電極、第１半導体層及び第２電極の組み合わせによって構成される第１太陽電池と、第２電極、第２半導体層及び第３電極の組み合わせによって構成される第２太陽電池が並列に連結される構成を持つことで、第１太陽電池及び第２太陽電池の間に電流マッチングのための工程が必要ではないながらも基板に入射された太陽光が第１太陽電池及び第２太陽電池それぞれに吸収されて全体薄膜形太陽電池の効率が増進される。 （もっと読む）

【課題】太陽電池、半導体素子または平板表示装置の基板の縁をエッチングするに際し、複数の基板を一度に処理し生産性の高い基板の縁のエッチング装置、エッチング方法を提供する。
【解決手段】エッチング装置１００、エッチング方法は、反応空間を形成するチャンバー１１０と；チャンバーの内部に設置されて複数の基板安置部１２２が定義される基板安置台１２０と；基板安置台の上部に設置されて、内部に中空部を具備し、底面で基板安置部と対応する位置に複数の貫通部１３２を具備するガス供給手段１３３と；貫通部の面積より小さい断面積を有して貫通部に挿入される本体部と、本体部に突出形成されて貫通部の縁に据置きされる係止段１４２を有する複数の基板遮へい部材１４０を含み、基板遮へい部材の本体部が複数の基板安置部に安置された各基板の中央部を遮って縁のみを露出させたまま基板の縁に対するエッチング工程を行う。 （もっと読む）

【課題】プラズマエッチング装置を提供すること。
【解決手段】チャンバーと、前記チャンバー内に位置して基板を支える基板支持部と、前記基板の中心部上にプラズマが生じないほどの間隔を隔てて配設される遮蔽部と、前記チャンバーの外壁の一部に配設されて前記基板の端部とチャンバーの内壁との間の領域にプラズマ電源を印加するアンテナと、前記基板支持部にバイアスを印加するバイアス印加部と、を備えるプラズマエッチング装置を提供する。これにより、遮蔽部と基板支持部により基板の周縁部を除く領域でのプラズマ生成を防ぎ、誘導結合型プラズマ放電を用いて高密度のプラズマを生じさせて、基板の端部領域のパーチクル及び薄膜を除去することができ、誘導結合型プラズマ放電により基板の端部のエッチング率を高めることができる。さらには、低い工程圧力でエッチング工程のプロファイルを調節することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマエッチング装置を提供すること。
【解決手段】基板が載置される基板支持台と、前記エッチング対象となる基板面と隣り合うように配設された電極と、前記基板と隣り合う電極の表面上に形成された誘電膜、及び前記電極と基板支持台との間に電位差を生じさせるための電源手段を備えるプラズマエッチング装置を提供する。このように、基板が載置された基板支持台と基板の端部領域を取り囲む電極との間に電位差を与え、基板と電極との距離を３ｍｍ以下にし、且つ、基板と電極との間の領域において局部的にプラズマを生じさせて、基板の端部領域のパーチクル及び薄膜を除去することができ、しかも、基板の上部中心領域にカーテンの役割を果たすガスを吹き付けて基板と電極との間で生じたプラズマが基板の上部中心領域に流れ込む現象を防ぐことができる。さらには、大気圧近くで且つ常温の状態でプラズマを生じさせることができる。 （もっと読む）

【課題】生産コストの低減及び生産期間の短縮を図ることができるガス噴射装置を提供する。
【解決手段】ガス噴射用プレート１５１は、ガス噴射側の面に形成された多数の第１孔部１１２、及び該第１孔部と連通して貫通孔を形成するように他側の面に形成された第２孔部１１６、を有するプレート本体１１０と、前記第１孔部１１２よりも開口面積が小さい第３孔部１６２を有して前記第２孔部１１６に装着されるノズルモジュール１６０と、からなり、前記第１孔部１１２と前記第３孔部１６２とが連通されて前記ガス噴射孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】薄膜形成用のシャドーマスクを基板に対して平行に保持する。装置の設置面積をできるだけ小さくし、薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】真空チャンバー１１０の上部に回転軸１２１を配置する。該回転軸１２１の内部に蒸発器１４０を設けて原料物質を気化させる。該回転軸１２１の下端にはガス注入器１１３を連結して、一体的に回転させる。ガス注入器１１３の下方には基板Ｓを配置し、該基板Ｓの上面にはシャドーマスク１１２を吸着させる。回転軸１２１の上部に供給されるキャリアガスは、気化された原料物質を運搬して基板Ｓの上面に付着させる。これにより、薄膜が形成される。本発明によれば、シャドーマスク１１２は基板Ｓに載置されるので、基板Ｓに対して平行に保持されることとなる。ガス注入器１１３は回転式であるため、装置の設置面積を小さくでき、かつ、薄膜の膜厚を均一にできる。 （もっと読む）