【課題】 不変形レーザスペックル映像を用いて二次元の精密な定位を行う方法及び系統を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明において、予め広い同調性を有するレーザ光を定位母板に照射し、該定位母板から散乱された光が干渉して生成した不変形スペックルを記録し、スペックルテーブルを作成し、基準点を定義し、記録された各スペックルを定位する。該スペックルテーブルから、いずれのスペックルに対応する座標位置を獲得することができ、さらに定位物の定位を導くことも距離の測量を適用することもできる。本発明は、キャプチャしたスペックルを数マイクロメーターに制御し、高精度の定位を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、変位監視用途においてスペックル画像を制御し且つ測定するデバイスと方法を提供することである。
【解決手段】スペックルを捕獲するための方法とデバイスが、記述される。光源から発される高コヒーレント光が使用されて、表面を照射し且つ散乱光を生成する。散乱光が、光制限要素を通過し、この光制限要素によって生成された回折光は互いに干渉してスペックルパターンを発生する。次に、画像センサが、使用されて、スペックルパターンをピックアップしてスペックル画像を形成する。従って、画像形成デバイスの移動中にスペックルサイズを拡大し且つスペックルパターンの変動を減少するために回折と干渉の効果と光制限要素が利用され、それによって、スペックルパターンが、画像中で明瞭に識別されることが出来る。 （もっと読む）