【課題】ピンチングにより高エネルギーのプラズマ・電子ビームを発生できるプラズマ・電子ビーム発生装置、薄膜製造装置及び薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜製造装置は、パルス生成器２でパルストリガーが付与される予備室１と、予備室１の下流域に取り付けられ、かつ高電圧が印加され、真空下及び減圧下でプラズマを発生させる中空カソード４と、中空カソードから延びるキャピラリー状放電管３と、前記電圧を印加する印加手段６と、前記放電管３を収容する真空チャンバー７と、真空手段８と、放電管３からのプラズマ・電子ビームが照射されるターゲット９と、ターゲットの構成元素を蒸着させるための基板１０とを備えている。さらに、前記放電管３をアノードと同電位に接地するためのアース手段１１を備え、前記放電管３は、比誘電率が３．５以上を越え、二次電子放電係数γが１以上であり、かつ沿面放電によりプラズマを発生可能な材料で形成されている。この装置は、基板に硬質炭素膜などを形成するのに有用である。 （もっと読む）

【課題】移動手段としてのみならず、健康維持のための時間が節約でき、体を動かす楽しみを味わうことができる車両を提供する。また、冬季等暖房が必要な使用環境であっても、楽しんで使える環境に配慮した車両を提供する。
【解決手段】ペダルを有し、前記ペダルへの踏み圧力を回転運動または往復運動に変換するペダル運動機構と、前記ペダル運動機構における前記回転運動のエネルギーを電力に変換する発電手段と、前記発電手段で変換した電力を蓄える蓄電池と、前記蓄電池に蓄えられた電力により回転するモータと、前記モータもしくは前記ペダル運動機構の何れか一方から得られる回転力、または、前記モータおよび前記ペダル運動機構の両方から得られる回転力により駆動する少なくとも１つの車輪と、を有する、複数の動力源を備えた多機能車両を提供する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な構造を有するワークであっても、酸化膜の生成を防止しつつ、均一かつ効率よく洗浄及び乾燥処理できる洗浄乾燥方法およびそのための装置を提供する。
【解決手段】 切削加工や研磨加工などが施された被処理体（ワーク）を有機溶媒で洗浄した後、ブロア１により流路２に酸素を含む気流を供給し、オゾン生成ユニット４でオゾンを発生させ、励起ユニット５によりオゾンを励起酸素原子（励起一重項酸素原子）に変換して、励起酸素原子に富む気流を洗浄乾燥室６に供給し、洗浄乾燥室内の被処理体（ワーク）８を処理する。被処理体（ワーク）８に付着した有機物は励起酸素原子により酸化分解され、被処理体が洗浄乾燥される。被処理体を蒸着などの表面処理に供すると、高い密着力が得られる。 （もっと読む）