第1の運動軸を有する第1の並進プラットフォーム、及び第2の運動軸を有する第2の並進プラットフォームと；該第1の運動軸において第1の並進プラットフォームを駆動する第1のリニア駆動モータと；該第2の運動軸において第2の並進プラットフォームを駆動する第2のリニア駆動モータと；を備え、各リニア駆動モータが、さらに棒状固定子を包むコイルアセンブリを備え、該コイルアセンブリが固定されており、該棒状固定子が該コイルアセンブリ内を動くことができるステージ。
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オートフォーカス装置が、一実施態様として、光源と、スプリッタと、光ファイバサーキュレータと、光コリメータと、バランス検出器と、マイクロプロセッサとを備える。該光ファイバサーキュレータは第1ポートにおいて該スプリットされた光信号の一つ、第2ポートにおいて該光コリメータ、そして第3ポートにおいて該バランス検出器に繋ぐ。該光コリメータは該光ファイバサーキュレータからの該光ビームをダイクロイックミラー及び顕微鏡対物レンズを介してサンプル上に導く。バランス検出器は入力として該スプリットされた光信号の別の一つを用い、該サンプルが置かれている基板から反射した光信号をアナログ電圧信号に変換する。該マイクロプロセッサは該バランス検出器の出力及び可調節顕微鏡法ステージからの位置フィードバックを処理して、所望の焦点を得るために該可調節顕微鏡法ステージの位置を移動させるための指令を発生する。
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入力光波を送信し、分析(dissect)し、焦点を合わせるためのレンズレットアレイを含む波面ディセクタ等の光学的素子と、送信した入力光波を受信するための例えば光学センサを含む光学装置と、該光学素子を該光学装置に再現可能に精密に取り付けるための取り外し可能な運動学的取付台とを備えたシャックハルトマン(SH)波面センサ。
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【課題】掃引レーザ12からの光出力の波長を正確且つ迅速に校正する。
【解決手段】 掃引レーザ12からの光出力は、結合器14及び16を介して、光電気信号変換器17及びガス吸収セル28に供給される。光電気信号変換器17は、電気信号の各点に対応する波長が正確に既知になるように、所定光波長レンジにわたって掃引レーザの光波長と循環的である電気信号を発生する。ガス吸収セル28は、掃引光出力から既知のスペクトル吸収線を発生し、検出器30で検出する。このスペクトル吸収線を電気信号の校正基準とする。 （もっと読む）

掃引波長光学システムの単掃引中に光学素子の複数の光学特性を測定する方法は、掃引波長光学システムの波長範囲内の光信号の光周波数を連続的に増分しながら、入力偏光状態を循環的に変化させる。測定された出力偏光状態から波長依存性ジョーンズ行列を計算し、ジョーンズ行列から複数の光学特性を決定する。該特性はＰＤＬおよびＤＧＤを含むことができる。 （もっと読む）

可視波長の範囲が掃引されるのに伴って、テスト光源の偏光状態をテスト光源の可視波長の関数としてポアンカレ球上で回転させることによって、単一掃引の偏光依存損失測定が達成される。偏光状態について既知の可視波長と共にテストされる光学コンポーネントの入力部および出力部での偏光状態および光パワーの測定が、４つの異なる偏光状態の方向で行われ、光学素子について偏光依存損失を算出するのに用いられる測定データのセットが得られる。偏光スキャンモジュールは、全パッシブまたはアクティブ構成のいずれかにおいて、テスト光源について可視波長の関数としての偏光状態を生成するのに用いられる。この偏光スキャンモジュールは、掃引波長光源（１２）および可視波長の関数としてポアンカレ球上で偏光状態を回転させるアクティブ偏光コントローラまたはパッシブ光学コンポーネントのいずれかを含んでいる。パッシブ素子は、互いの固有状態のそれぞれに対して約４５°に方向付けられた偏光維持ファイバ（１４，１６）および光源（１２）、異なる光路長（Ｌ，√２）を有するＰＭＦ（１４，１６）、または各対のスプリッタおよびマルチプレクサ間で異なる光路長を有し、光路長間の差が各対で異なる光スプリッタ／マルチプレクサ対のいずれでもよい。相対的な方向および光路長は偏光状態がポアンカレ球上で回転するように選択される。
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【課題】高速でほぼ連続的なチューニング速度と、少なくとも2,3ミリメートルの動的コヒーレンス長の両方を実現する。
【解決手段】小型レーザシステムは広い範囲にわたってスキャンされることができる。小型レーザシステムは、速いスキャン速度でスキャンされることができる。小型レーザシステムは可変コヒーレンス長を有することができる。特に、約1nm/sに達する連続可変スキャン速度で140nmにわたる波長スキャンと、約10nm/sに達するスキャン速度の離散的な上昇と、1mmから約30mmまでの可変コヒーレンス長が実現されることができる。 （もっと読む）