【課題】回転陽極に関連する長い使用寿命及び耐久性という長所と、高度のＸ線使用に要する高輝度とを有する単一スポットの微小集束Ｘ線源Ｘ線を提供する。
【解決手段】発出された電子は、電子発生チャンバ１２／ターゲットチャンバ１４間に延在する縦軸線と平行にターゲット３０に向って移動し、ターゲットに照射を与えてＸ線を発生させる。ターゲットは、電子の照射付与の間に、縦軸線と直角の少なくとも１方向に支持構造物に対して変位可能である。 （もっと読む）

２次元Ｘ線散乱カメラは、線源、光学素子、検出器、及び一対のコリメーション・ブロックを含む。線源は、光学素子によって試料の方へ反射されるＸ線ビームを放出する。検出器は試料からの散乱を検出し、一対のコリメーション・ブロックは、ビームを視準するために光学素子と検出器との間に設置される。１つのブロックの底面は他のブロックの上面と実質的に平行であり、これらのブロックは、旋回軸線の周りでビームに対して回転可能である。ビームがコリメーション・ブロックによってどのように視準されるかに関係なく、システムは、検出器の位置において主ビーム軸の周りに対称的な２次元ビームを形成する。したがって、システムはスミアを除去し、高分解能及び低Ｑ_ｍｉｎでの異方性小角散乱に使用することができる。
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Ｘ線光学装置は、光学装置と、Ｘ線ビームの一部を選択的に遮る調整可能なアパーチャとを含む。調整可能なアパーチャは、光学装置と試料との間に配置され、光学装置と一体化されるか、又は光学装置に近接して配置される。調整可能なアパーチャにより、ユーザがＸ線の収束を容易かつ効果的に調整できるようになる。このようにすることで、可能性のある測定をすべて考慮した最大収束を有する光学装置を使用し、アパーチャを調整して特定の測定に合わせた収束を選択することにより、Ｘ線光学装置の光束及び解像度を最適化することができる。
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本発明は、それぞれの３層が所定の材料である、少なくとも１つの三つ組層を有する多層構造体から成る。この材料の１つは、ランタン、酸化ランタン、又はランタン基合金を含む群からのものであり、第２の材料が第１材料と第３材料の間に配置される。この第２材料は、炭素、ケイ素、ホウ素、炭化ホウ素、又は炭化ケイ素を含む群からのものである。第３の材料は、ホウ素又は炭化ホウ素を含む群からのものである。代替案としては、第４の材料を追加して、この多層構造体をさらに強くし、かつその耐水性を向上させる。この第４材料は、ケイ素、ホウ素、炭化ホウ素、又は炭化ケイ素を含む群から選択する。第４材料は、第ｎ周期の第３層と第（ｎ−１）周期の第１層との間に配置される。
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本発明は、電子を発出する電子ビーム源２２を有する電子発生チャンバ１２と、支持構造物３６及び支持構造物内に配置されたターゲット３０を有するターゲットチャンバ１４とを含むＸ線源１０を提供する。発出された電子は、電子発生チャンバ／ターゲットチャンバ間に延在する縦軸線と平行にターゲットに向って移動し、ターゲットに照射を与えてＸ線を発生させる。ターゲットは、電子の照射付与の間に、縦軸線と直角の少なくとも１方向に支持構造物に対して変位可能である。
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本発明は、その１つが結晶である２つの光学要素を含んだＫｉｒｋｐａｔｒｉｃｋ−Ｂａｅｚ型の回折光学部品を有したＸ線ビーム調整システムを提供する。要素は、隣り合わせの構成で配置される。結晶は、完全結晶とすることができる。１つ又は両方の回折要素は、モザイク結晶とすることができる。１つの要素は、マルチレイヤ光学部品とすることができる。たとえば、マルチレイヤ光学部品は、格子面間隔が徐々に変わる楕円形ミラー又は放物線状ミラーとすることができる。徐々に変わる格子面間隔は、横方向に徐々に変わる、又は深さ方向に変わる、いずれか又はその両方とすることができる。
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