【課題】 真球度が高くかつ球径の均一な微小球体を簡易に製造する。
【解決手段】 不活性ガスを満たしたチャンバ１の上端部内に電極２Ａ，２Ｂが突出して接近対向している。電源３から電極２Ａ，２Ｂ間にパルス電源が供給されて、電極２Ａ，２Ｂ間にアーク放電が生じる。材料体５は材料供給装置６によってチャンバ１の頂部から電極２Ａ，２Ｂ間に供給される。材料体５は、製品となる所定径の微小球体の体積にほぼ等しい体積のチップ状のものが順次電極間に供給されて、アーク放電によって瞬時に溶解され、自己の表面張力によって球状となる。その後、通電を停止すると冷却されて凝固し、自重によってチャンバ１の底部へ落下する。 （もっと読む）