【課題】 吸着口を物品の吸着面にセッティングし易い真空吸着装置を提供する。
【解決手段】 真空吸引管１と、前記真空吸引管の一端に設けた吸着口２と、前記真空吸引管内から前記吸着口を介して外部に光を射出する光源４とを備えた真空吸着装置により前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 素子機能のバラつきを極力少なくし、歩留まりを向上させ、コスト低下を実現できる共振周波数可変共振子を提供する。
【解決手段】 固定電極１と、固定電極に対し間隔をおいて対向配置された可動電極３と、間隔をおいて対向配置され、予め全て外側または全て内側に撓ませた複数枚の導電機能を有する板ばね２からなり、各板ばねの一方の端部は前記固定電極と一体化され、各板ばねの他方の端部は前記可動電極と一体化されたばね部材と、中央部が前記可動電極に固着され、端部が第２の固定電極４−１、第３の固定電極４−２に固着されている導電性の板ばね５、前記可動電極を押し引きして前記板ばね２を変形させるアクチュエータ６とを備えたことを特徴とする共振周波数可変共振子。 （もっと読む）

【課題】 低い周波数で駆動でき、衝撃耐性に優れ、小型で低コストの光偏向素子を提供する。
【解決手段】台座部品と、前記台座部品に固着または連続形成された不動部３と該不動部に両持ち梁部２により支持された可動部１とを有し、該可動部が電極機能を有する軟質樹脂部品と、前記可動部上に固着された反射板６と、前記可動部に対して所定の間隔をもって対向配置される固定電極を有し、前記台座部品に固着された固定電極部品とを備え、前記軟質樹脂部品は、シリコーンゴムより形成されている静電駆動型光偏向素子により前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 強い衝撃耐性を有し、高感度な小型の容量検出型加速度センサを低コストで提供する。
【解決手段】 重り部４と前記重り部を支える梁５と前記梁を支持する固定部６とからなる部品でありかつ前記重り部の表面に可動電極７を有する可動電極部品１と、前記可動電極７に対して所定の間隔をもって対向配置された固定電極１１を有する固定電極部品３とを備えた容量型加速度センサにおいて、前記梁５がシリコーンゴムを母材として形成されている容量検出型加速度センサにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 低い周波数で駆動でき、光偏向角度が広角で、小型で、かつ配線による素子動作特性の変動のない低コストの光偏向素子を提供する。
【解決手段】 磁石を有する台座と、前記台座に固着された不動部および該不動部に梁により支持されコイルを有する可動部を備えた軟質樹脂部品と、前記可動部上に固着された反射板３とを備え、前記軟質樹脂部品は、絶縁性の第一の樹脂部品２−１と電気配線のための導電性の第二の樹脂部品２−２からなる光偏向素子により前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 一つの台座の同一平面上にレーザダイオードチップやレンズや光偏向素子チップなどの光学部品を、光軸を合わせて実装でき、台座製造コストを高くすることなく、高精度実装が実現できる光偏向装置を提供する。
【解決手段】 貫通穴２を有する台座１と、前記貫通穴を突き抜けて、台座の上下両面に突出している部位を有する光偏向素子チップ６とを備えた光偏向装置弐より前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシニング製造技術で製造でき、斜面に光偏向子を配置しても電極取出しが容易な光偏向素子，光偏向装置を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハー９−１上に柔軟な樹脂９−２を被覆した素材９の一方に光偏向子部２を形成し他方に電極部３を形成した光偏向素子であって、前記光偏向子部と電極部との間はシリコンウェハー部分８がなく屈曲可能な光偏向素子により前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】より微細な、より狭小なピッチの電極にも対応できる異方性導電シートとそれに用いる電極を提供する。
【解決手段】単結晶シリコン材から異方性エッチングによって曲がり板ばね形状の部材を形成し、その表面に金メッキをしてシリコン製ばね電極１を製造する。このばね電極１をシリコーンゴムシートに設けた貫通穴にはめ込み固定する。 （もっと読む）