【課題】従来の洗浄方法でも除去できない灰化物等の汚染物を除去できる高清浄度の洗浄方法の提供。
【解決手段】固形炭酸粒子を被洗浄材に噴射することにより、前記被洗浄材上の付着物を除去した後に、炉内において前記被洗浄材を加熱冷却する加熱冷却工程を含む被洗浄材の洗浄方法であって、前記加熱冷却された被洗浄材を、比抵抗１５ＭΩ以上の純水に浸漬する浸漬工程と、前記浸漬工程において、前記被洗浄材に超音波振動を与える超音波振動工程を含む洗浄方法であり、前記洗浄後に、５０℃以上の窒素雰囲気下で前記被洗浄材を乾燥させる第１乾燥工程を含む洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】少量のスラリーで研磨装置を効率良く動作させることができる流量制御装置を得ること。
【解決手段】スラリーを供給するスラリー供給装置３とスラリー供給装置３からのスラリーを用いて被加工物の研磨を行なうＣＭＰ装置２との間に配設されて、スラリー供給装置３側からＣＭＰ装置２側へ送出するスラリーの流量を制御する流量制御装置において、自装置とＣＭＰ装置２との間の配管６１内でＣＭＰ装置２へ送るスラリーの流量を制限するバルブ１２と、バルブ１２を制御してスラリー供給装置３側からＣＭＰ装置２へ送るスラリーの流量を制御するシーケンサ１１と、を備え、シーケンサ１１は、ＣＭＰ装置２が被加工物の研磨を行なう際に、ＣＭＰ装置２へ供給されるスラリーの流量が所定のタイミングで増減するようＣＭＰ装置２側へ送出するスラリーの流量を変化させる。 （もっと読む）

【課題】
被洗浄材にエッチング等のダメージを与えずに、付着物だけを取り除ける洗浄方法が求められている。
【解決手段】 被洗浄材自体に影響を与えないが被洗浄材上の付着物を気化できる範囲の出力と移動速度で、被洗浄材にレーザを照射して、被洗浄材上の付着物を気化させるレーザ照射工程を含む洗浄方法により上記課題を解決する。
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