【課題】試料に応じて適した検出器を切り換えて使用できるようにする。
【解決手段】イオン検出器は、イオンを受け取る入口開口部と、ファラデーカップと、電子増倍器と、入口開口部を通して受け取ったイオンを方向づけるよう配置されたイオンビームコントローラとを備える。コントローラは、受け取ったイオンがファラデーカップによって検出されるようにコントローラが作動する第１の構成と、受け取ったイオンが電子増倍器によって検出されるようにコントローラが作動する第２の構成との間で切り替え可能である。 （もっと読む）