【課題】加工品を加工するために用いる測定されたパラメーターデータの精度を向上させることができる方法および装置を提供することである。
【解決手段】センサ装置１１０であって、センサ１２０、ベース１１０、ならびに少なくとも一個の電子構成部品１３４および電子回路モジュール支持構造１３８を備える電子回路モジュール１３０を備え、前記少なくとも一個の電子構成部品１３４は前記電子回路モジュール支持構造１３８上に支持され、前記電子回路モジュール支持構造１３８は前記ベース１１０と物理的に接触し、前記電子回路モジュール支持構造１３８は前記センサ１２０との間の電気的結合を有する。 （もっと読む）