【課題】検査時間が極めて短く、作業時間、タクトタイムを短縮することが可能な線状体ないし帯状体として把握可能であり、しかも、被検体に歪みや変形がある場合でも、誤認識を防止し、正確な欠陥検出が可能な欠陥検出方法、欠陥検出装置、欠陥検出プログラムを提供する。
【解決手段】半導体ウエハのエッジ部分など、線状体ないし帯状体として認識可能な被検体画像の幅方向の輝度と画素数とを積算し、この積算値が所定の基準値以下のときに欠陥であると判断する構成の欠陥検査方法、欠陥検出装置、欠陥検出プログラムとした。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハの外周部分の欠陥検査を、一度に複数枚のウエハを短時間で容易に処理できる半導体ウエハの検査装置を提供する。
【解決手段】 ウエハ１１が収納された収納容器１０を載置して第１のステージ２と第２のステージ３を移動可能な移動テーブル４を有し、第１のステージ２には少なくとも一度に複数枚のウエハ１０のインデックスを機械的に検出して同一位置に整列させるノッチオリフラ整列部２０を、第２のステージ３には複数のウエハ１１を検査部に持ち上げるウエハー突き上げ部３０を、前記検査部８には複数のウエハ１１を一括して保持し回転させるウエハ一括回転部５とウエハのエッジ部を撮影する撮像装置６ａ，６ｂとを有し、前記撮像装置６ａ，６ｂから得られた画像を処理して、複数ウエハ１１のエッジ欠陥検出検査を行う構成の半導体ウエハの検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】 簡単な作業でウエハ上の欠陥個所を特定し、検査ステージ上は閉じた空間状態にすることが可能であり、マクロ検査工程との欠陥位置情報の共有が可能で、ウエハの回転、傾斜の自由度が大きく、検査精度と検査方法の自由度が高い半導体ウエハの検査装置を提供する。
【解決手段】 被測定物１０を任意の姿勢に制御可能な検査ステージ１と、検査ステージ１上の被測定物１０を撮影して画像データに変換する撮像システム２，３と、これから得られた画像データを表示すると共に画面上の任意の位置データを入力可能な表示装置５，６とを有し、被測定物の姿勢データ８から表示装置５，６に表示されている被測定物１０ａと相似な仮想画像９を作成し、この仮想画像９に表示装置から入力された位置データｄ１を反映させると共に、被測定物１の姿勢データ８を逆変換して前記位置データを内在する平面上の仮想ウエハデータ９３とする構成の半導体ウエハの検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】
発送前に容器内に収納された半導体ウエハの状態を容器外部から蓋を開けることなく簡単に確認でき、安全かつ確実に収納不良を検出できる半導体ウエハ収納容器の検査装置を提供する。
【解決手段】
容器１内に収納されている半導体ウエハ１ａの状態を容器に収納したまま検査する半導体ウエハ収納容器の検査装置であって、
検査台４に載置された容器１内の半導体ウエハ１ａに背景光を容器下部から照射する照明器具３と、この背景光により容器内の半導体ウエハの画像を容器外部の上方から捕らえる撮像器具２ａ，２ｂと、得られた画像を処理して半導体ウエハの状態を判断する処理装置１１，１２とを有する半導体ウエハ収納容器の検査装置。
（もっと読む）

【課題】
発送前に容器内に収納された半導体ウエハの状態を容器外部から蓋を開けることなく簡単に確認でき、安全かつ確実に収納不良を検出できる半導体ウエハ収納容器の検査装置を提供する。
【解決手段】
容器１内に収納されている半導体ウエハ１ａの状態を容器に収納したまま検査する半導体ウエハ収納容器の検査装置であって、検査台４に載置された容器１内の半導体ウエハ１ａに背景光を照射する照明器具３と、この背景光により容器内の半導体ウエハの画像を容器外部の下方から捕らえる撮像器具２ａ，２ｂと、得られた画像を処理して半導体ウエハの状態を判断する処理装置１１，１２とを有する半導体ウエハ収納容器の検査装置。
（もっと読む）