【解決手段】システムは、プローブヘッドの周囲に配置した、ＩＣ上に冷却液流を供給する微細噴霧スプレーヘッドを有する。流体噴流を冷却液流のよどみが存在する領域に導く流動誘起噴射器が備えられる。
【効果】どのよどみ点も減少または解消され、ＩＣ全域で温度の均一性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】光学的プロービングシステムと、効率的な集光を可能にするとともに、標本の熱管理を可能にする方法とを提供する。
【解決手段】標本または被検デバイス１１１を撮像する光学的受光器１００は、対物レンズハウジング１１０と、対物レンズハウジング１１０内に取り付けた対物レンズ１２０と、対物レンズハウジング１１０上、とくに、対物レンズハウジング１１０の円錐状部分１２２の頂部に取り付けた固体浸レンズ（ＳＩＬ）１２６と、対物レンズハウジング１１０の表面、とくに、対物レンズハウジング１１０の円錐状部分１２２に装着した熱管理装置１１４とを備える。熱管理装置１１４は、冷却剤管路、熱電冷却（ＴＥＣ）装置等であってもよい。冷却剤スプレーを、撮像する標本１１１に噴霧することもできる。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＴのレーザープロービングを行って選択領域の変調情報を提供する装置及び方法を提供する。
【解決手段】変調マップ作成を行う装置を開示する。この装置は、レーザー源、レーザービームとＤＵＴとの間の相対移動を行う移動メカニズム、ＤＵＴから反射した変調レーザー光を集光するための光検出器及び適切な電子回路を含む信号捕集メカニズム、及び選択した時間中にＩＣの選択領域上で集光した変調レーザー光から成る空間変調マップを表示するための表示メカニズムを具えている。 （もっと読む）

【課題】背面からテストを実行するための半導体ウェハを準備する方法の提供。
【解決手段】ウェハ３００におけるテスト対象のダイ３２５を選択するステップと、ダイ３２５の対角線を測定するステップと、スクライブライン３２０ａおよび３２０ｂを越えて延在するダイ３２５上のエリアを薄型化するステップと、該薄型化エリア３５０内にインサート３６０を載置するステップと、ダイ３２５までの光路を不明瞭にしないように、インサート３６０の周辺エリアに接着剤３８０を塗布するステップとを含む。インサート３６０は、ドープされていないシリコンから作られることが有益である。 （もっと読む）

本発明は、ＦＩＢ加工エンドポインティングオペレーションを向上させるシステムおよび方法に関する。この方法は、加工されているエリアのリアルタイム画像と、ピクセル強度のリアルタイム図形プロットとを生成することを含み、既存のＦＩＢシステムによって生成された画像およびプロットに対して検出感度を向上させるものである。画像およびプロットは既存のＦＩＢシステムから得られた生の信号データを用いて生成される。より具体的には、生の信号データは、画像を生成するための特別なアルゴリズムに従って処理される。このアルゴリズムは、画像と、対応する強度グラフを生成するためのものであり、これら画像およびグラフは信頼性の高い正確なエンドポイント検出に使用される。
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