【課題】等方性エッチングを用いた微細パターン形成方法を提供する。
【解決手段】この方法は、半導体基板に被エッチング層を形成し、この被エッチング層の上部にフォトレジスト層をコーティングする段階と、該フォトレジスト層のコーティングされた被エッチング層にリソグラフィを行い、リソグラフィにより生成されたフォトレジストパターンを含む被エッチング層に第１等方性エッチングを行なう段階と、このフォトレジストパターンを含む被エッチング層の上部にパシベーション層を溶着する段階と、溶着されたパシベーション層のうち、第１等方性エッチングされた所定の部分のパシベーション層を除去する段階と、パシベーション層の除去された所定の部分に第２等方性エッチングを行なう段階と、を含む。ここで、パシベーション層の所定の部分を除去する段階を省略し、直接第２等方性エッチングを行なう段階に移行しても良い。 （もっと読む）

リードフレームが提供される。このリードフレームは、半導体チップと電気的に接続される複数のリードと；前記複数のリード上部に配置され、インナーリードの熱膨張係数と類似の材質で形成されるベース層と、前記ベース層と前記複数のリードとの間に配置され、前記複数のリードを固定させるとともに前記ベース層を前記リードに接着させる接着層とを備えるリードロックと；前記半導体チップと前記リードロックのベース層を電気的に接続させる少なくとも一つのラインと；を含む。バスバー領域をリードロックに取り替えることで、バスバー領域を除去して、リードフレームの小型化が可能であり、熱的安全性及び寸法安定性が優秀である。
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【課題】従来のマイクロレンズアレイシートの製造工程において発生する光損失現象を改善して光効率を向上させるとともに、マイクロレンズの視野角を制御可能にするマイクロレンズアレイシート及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、マイクロレンズアレイシートであって、隣接するレンズの間に境界溝を有する曲面を含む凹凸形状のマイクロレンズアレイ及び前記マイクロレンズアレイの上部に積層されるギャップ充填膜を包含する。本発明によれば、従来の半導体一貫工程によって製作される方法と比べてレーザー微細加工技術を用いることにより、工程の段階を減少することができるため、生産性の向上を図ることができ、使用者の望む３次元微細形状のマイクロレンズシートの製作が可能になり、精密な表面形状が要求されるディスプレーシステムの光シートへの応用が可能である。 （もっと読む）

【課題】 透明基板、半透過層及び遮光層を持つハーフトーンマスク及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のハーフトーンマスク及びその製造方法によれば、一つのマスクを複数サイクルのフォトリソグラフィ工程に適用できるので、製造工程が減り、低コストが図られる。また、該ハーフトーンマスクの半透過層は、酸素（Ｏ）含有のクロム（Ｃｒ）膜の均一度、すなわち、スパッタリングの均一度によって形成しようとするパターンを均一に形成できるので、ハーフトーンマスクの大きさに制限を受けない。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、マイクロレンズアレイシートの製造工程において発生するベースの高さと表面粗度の不均一性を改善して均一な光学的性能を有するマイクロレンズアレイシート及びその製造方法を提供する。
本発明は、更に、好ましい拡散角を有し、視野角特性の制御が可能な、均一性の向上されたマイクロレンズアレイシート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
前記の課題を達成するために、マイクロレンズを配列する透明基板と、前記透明基板の上に、次に配列されるマイクロレンズと同一の位置に使用者によって決定される高さで形成されたベースと、前記ベースの上部に形成されるマイクロレンズと、前記構成された構造物の上部に形成するギャップ充填膜を包含し、前記ベースの上部表面は平坦化工程を経て前記ベースの高さが均一であることを特徴とする。
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【課題】所定の水平方向の視野角及び垂直方向の視野角を確保したプロジェクションスクリーンを提供する。
【解決手段】本発明は、複数のマイクロレンズ302を装着するように形成された基板301と、基板の全体面に配列して形成された多数のマイクロレンズアレイと、該マイクロレンズアレイが形成された基板表面の裏面に形成された光遮断層304と、該光遮断層の底面に形成された光拡散層と、該光拡散層の底面に形成された保護層とを含む。これにより、高い輝度を有しマイクロレンズアレイの微細ピッチ化を通じて高解像度の映像を得ることができ、水平及び垂直方向に相違する放射角特性を有する方向性光拡散層シートを適用して広い水平視野角を維持しながら、垂直視野角の制御を容易かつ任意に調節することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、従来技術の問題点を解決するために案出されたものであって、マイクロレンズアレイシートのコントラストを向上させるブラックマトリクス及びその形成方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、マイクロレンズアレイシートの輝度及び視野角に影響を及ぼさないブラックマトリクス及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、ブラックマトリクスが具備されたマイクロレンズアレイシート及びその製造方法に関するものであって、ａ）マイクロレンズアレイ層、透明支持体基板又はフィルム層、ネガ型感光性樹脂層を順次積層した後、平行光線を照射、集光することによってネガ型感光性樹脂層に集光された光が透過する開口部の領域を定義する段階、及び、ｂ）ネガ型感光性樹脂層に形成された光出射口領域を除く残りの部分を除去し、該部分が除去された領域にブラックマトリクス層を形成する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】光軸に垂直な平面上で直交する２つの軸に沿って曲率半径と非球面係数を個別に異なるように調節することにより光効率を向上させる非球面マイクロレンズアレイ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明による非球面マイクロレンズアレイ１００は、ベース１２０と、前記ベース上に配列され、光軸に垂直な前記ベースの平面上で直交する２つの軸に沿ってそれぞれ異なる曲率半径及び非球面係数を有するように形成される複数の非球面マイクロレンズ１１０とを含み、屈折程度、すなわち、開口数を各軸方向に沿って容易に調節でき、球面収差が減少して集光効率が増加する。また、プロジェクションスクリーン、イメージセンサなどに適用される場合、感度及び解像度の向上を図ることができる。 （もっと読む）