【課題】小型、低コストで高強度の極端紫外光源を提供すること。
【解決手段】絶縁体（３）を挟んで対向する第１の電極（４）および第２の電極（２）と、前記第１の電極（４）および前記絶縁体（３）とを貫通する細孔光路（３ａ＋４ａ）の他端側に連通して第２電極（２）に形成されたターゲット材収容部（２ａ）と、前記ターゲット材収容部（２ａ）に収容された極端紫外光（１３）の発光種となる固体のターゲット材（Ｔ）と、前記第１の電極（４）と前記第２の電極（２）との間に、真空状態の前記細孔光路（３ａ＋４ａ）に沿面放電を発生させる電圧パルスを印加するパルス電源（６）と、を備え、沿面放電により、前記ターゲット収容部（２ａ）の固体のターゲット材（Ｔ）をプラズマ化し、極端紫外光（１３）を発生させて、前記細孔光路（３ａ＋４ａ）を通じて外部に導く極端紫外光発生装置（１）。 （もっと読む）

【課題】無声放電式の放電管において、光の均一性を向上させること。
【解決手段】外表面に第１の電極（１１）が設けられる筒状の外筒壁（４）と、外筒壁（４）よりも小径の筒状に形成され且つ外筒壁（４）の軸方向端部よりも外方に突出する被支持部（６ａ）を有し、内表面に第２の電極（１２）が設けられる内筒壁（６）と、外筒壁（４）、内筒壁（６）および端壁（７）により囲まれ、無声放電時に光を発生する光発生用ガスが封入される放電空間（８）と、を備え、第１の電極（１１）と第２の電極（１２）との間に前記放電空間（８）内で無声放電を発生させる電圧が印加されるエキシマランプ（１）。 （もっと読む）

【課題】小型の光脱離分析装置を提供すること。
【解決手段】
発生部（１ａ）内の希ガスにレーザー光（Ｌ）を照射してプラズマを発生させて真空紫外域から可視域の光を発生させるレーザー光源装置（６）と、前記光発生部（１ａ）内に配置され且つ発生した光を分光する分光系（１２）、前記光発生部（１ａ）内に配置され且つ発生した光を反射して前記分光系（１２）に集光する反射光学系（１１）および前記光発生部（１ａ）内に配置され且つ前記分光系（１２）により分光された単一波長の光を集光して前記試料（Ｓ）に照射する集光光学系（１３）が一体的に構成された発光分光集光系（１１〜１７）と、を有する光源装置（Ｄ１）と、前記真空チャンバ（Ｄ２）内に配置され、光が照射された前記試料（Ｓ）から脱離する物質を検出する質量分析計（２６）と、を備えた光脱離分析装置（Ｄ）。 （もっと読む）

【課題】生産コスト及び運用コストを低減すること。
【解決手段】放電電極（８）が内部に配置された光発生室（６）と、前記放電電極（８，４３）が放電したときに所定の波長の真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記光発生室（６）内に流入させるガス流入口（１６）と、前記光発生室（６）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを前記光発生室（６）から流出させるガス流出口（１７）と、前記ガス流出口（１７）および前記ガス流入口（１６）とを接続する循環路（２１＋２２）と、を有し、前記ガス流出口（１７）から流出した前記真空紫外光発生用ガスを前記ガス流入口（１６）から前記光発生室（６）内に流入させることにより前記真空紫外光発生用ガスを循環させることを特徴とする光源装置（４）。 （もっと読む）

【課題】 長いガス置換時間を必要とせずに、真空紫外光照射により試料洗浄を行える構成の簡素な真空紫外光照射装置を提供すること。
【解決手段】内部に真空紫外光発生用の放電用電極１６が配置された真空紫外光発生室Ａと、前記真空紫外光発生室Ａ内に真空紫外光発生用ガスを流入させるガス流入路１９ａと、前記流入した真空紫外光発生用ガスを真空紫外光発生室Ａから流出させるガス流出路Ａ１ａ、前記真空紫外光発生室Ａ内の真空紫外光が照射される真空紫外光照射位置で且つ前記真空紫外光発生用ガスの流路中に試料を支持する試料支持部材２１とを備えた真空紫外光照射装置。 （もっと読む）