本発明は、種々の組成物のナノ構造化された及びナノ多孔質の薄フィルム構造物の製造方法を含む。これらのフィルムは、直接パターン化されてよい。これらの方法において、先駆物質フィルムは、表面に付着され、またこの先駆物質フィルムの異なる成分は、選択条件下で反応し、ナノ構造化された又はナノ多孔質のフィルムを形成する。そのようなフィルムを種々の用途、例えば低κ誘電体、センサー、触媒、導線又は磁性フィルムに使用し得る。ナノ構造化されたフィルムは、次のように作られ得る。（１）一種の先駆物質成分及び二種の反応の使用（２）光化学変換の異なる速度に基づく２種以上の成分の使用（３）一つの先駆物質の熱感受性及び他方の光化学感受性に基づく２種の先駆物質の使用、及び（４）先駆物質フィルムの光化学反応及びほとんど未反応の成分のフィルムからの選択された除去による。 （もっと読む）