本発明は、粘土およびミクロフィブリル化セルロースナノファイバを備えるナノペーパーであって、ＭＦＣナノファイバおよび層状の粘土がペーパー表面に実質的に平行に配向される、ナノペーパーを参照する。発明はさらに、ナノペーパーを作る方法、およびナノペーパーの使用に関する。
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大きな表面を有する基板の火炎処理、たとえば燃焼化学気相成長（ＣＣＶＤ）法で基板をコーティングするのに特に好適なガスバーナーは、ガス供給接続部（２）およびノズルプレート（３）を有するバーナー本体（１）を含む。バーナー本体（１）およびノズルプレート（３）はともにガスプレナムを構成し、ノズルプレート（３）は、プレナムの穿孔された壁部分を構成する。ノズルプレート（３）は、ノズルプレートのプレナム側（５）から火炎側（６）に延在する多数のノズル（４）を含み、積層に配置され、かつノズル延在部にほぼ垂直またはほぼ平行に延在する複数のシート（１０）からなる。シート（１０）は貫通開口部を有し、すべてのシートの貫通開口部は、少なくとも部分的に互いに位置合わせされるか、または櫛状の形態を有する。バーナーのノズルプレート（３）は、バーナーの寸法およびノズルの必要とされるアスペクト比とは無関係に、簡単に、たとえば市販の穿孔された金属シート材料で作製することができ、ノズルの寸法または密度に関する様々な要件に容易に適合させることができ、容易に洗浄することができる。
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ポリマー膜（１）のウェブは、回転可能なドラム（１２）の助けを借りて、複数の炎帯状域を通して搬送されることにより、酸化物層、特にＳｉＯ_Xバリア層でコーティングされる。当該複数の炎帯状域は、ドラムの円周面に対して上方から半径方向に方向付けられており、この円周面上で支持および搬送されているウェブの幅全体にわたり、互いに対して或る距離を取って延在し、可燃性ガスと、酸化剤と、シリコン含有化合物とを含むガス混合物の供給を受ける。ここで、回転可能なドラムの円周面は、予め定められた温度まで冷却され、ウェブは、内炎領域の先端の区域を通って搬送される。上記の態様で生成された、バリア層を有するポリマー膜は、１０ｎｍ未満の薄い層厚においても、極めて良好なバリア特性を有する。加えて、周辺圧力で実施される当該処理を、極めて簡素な設備で実施することができ、必要であれば、連続するロール間処理またはインライン処理で実施することができる。
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プラズマ強化プロセス、特にプラズマ強化化学気相成長プロセスを実行するための装置は、真空チャンバ内に、極性が反対の周辺磁極および中央磁極を有する平坦なマグネトロン面（２０）を有して交流電圧の電源（３４）に接続されているアンバランス型マグネトロンを構成する、少なくとも１つのマグネトロン電極（３２）を含む。この装置はさらに、処理される表面がマグネトロン面（２０）に面するように基板（２５）を位置付けるための手段と、プロセスガスまたはプロセスガス混合物を、マグネトロン面（２０）と処理される表面との間の空間に供給するためのガス供給手段とを含む。最適な堆積速度を達成するために、マグネトロン面（２０）と処理される表面との間の距離は、マグネトロン面（２０）の周辺磁極と中央磁極との間に延びる磁力線によって形成されるより暗いトンネルと処理される表面との間に走る可視プラズマ帯があるように、マグネトロン電極（３２）によって作り出される磁界に適合され、プラズマ帯は最小限の幅を有するものの、コーティングされる表面に向かって均質な明るさを有している。処理される表面とマグネトロン面との間の距離は、好ましくは、トンネルの高さよりも２〜２０％長い。この装置は、たとえば、ポリマーフィルム材料でできたウェブを酸化シリコンでコーティングしてそのバリア特性を向上させるために適用可能である。
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連続したプラズマ強化プロセスにおいてウェブ材料を処理するための装置を提供する。当該装置は真空チャンバ（１）を含み、真空チャンバ（１）は、チャンバ（１）内に配置されチャンバ（１）内で一定の減圧を維持するための手段（２）を備え、当該装置はさらに、ウェブ（４）を支持しかつ搬送するための回転ドラム（３）と、ドラム（３）によって支持および搬送されるウェブ（４）に面するマグネトロン手段と、ドラムとマグネトロン手段との間におけるプラズマが維持される空間（１０）にプロセスガスまたはプロセスガス混合物を供給するためのガス供給手段とを含む。マグネトロン手段は、互いに平行に並んで配置される長方形のマグネトロン面を備えた複数の独立したマグネトロン電極（６）を含む。各マグネトロン電極（６）は、それ自体の電源手段（７）によって交流電圧が個々に供給される。ドラム（３）は電気的に接地されるか、浮遊するかまたは負にバイアスがかけられる。当該装置は、プラズマ強化化学気相成長プロセスで可撓性のあるウェブ（４）をコーティングするのに特に好適であり、たとえばそのバリア特性を向上させるために酸化珪素でポリマー膜のウェブをコーティングするのに好適である。当該装置は極めて一定の品質を有する信頼性の高いコーティングで作られ、単純な態様で実行可能なメンテナンスを少ししか必要としない。
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