【課題】 戻り光の一部が発光部に入射することを防止して正確な変位測定を可能としつつ、小型化が可能な変位測定装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板１に凹部２が設けられ、この凹部２内に発光部３と受光部４、受光部５とが設けられている。発光部３は面発光レーザからなり、受光部４、受光部５は２分割フォトダイオードからなる。半導体基板１の上方側には、光を透過するガラス部材６が配置され、このガラス部材６のうち、発光部３の発光面３ａから出射する光ビームの中心部分が照射される位置には、反射部７が形成されている。反射部７によって反射された光は、モニタ部８によって受光され、発光強度のモニタ用として利用される。発光部３の発光面３ａから出射した光は、その中心部分が反射部７によって反射されているため、円環状の光ビームとなってガラス部材６を透過しマイクロミラー１０で反射される。 （もっと読む）