説明

株式会社 KTSオプティクスにより出願された特許

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【課題】従来よりもユーザに掛かる負担を軽減し、表面検査装置による検査作業の自動化及び省力化を促進させることが可能な表面検査装置の検査システムを提供する。
【解決手段】ヘッド本体16Aの先端に着脱可能に設けられ、かつミラー18が組み込まれる軸状の走査部16Bとを備えた検査ヘッド16を軸線AXの回りに回転させつつ軸線AXに沿って移動させ、検査ヘッド16内に軸線AXに沿って入射した検査光の光路をミラー18により変更してワークWに照射し、ワークWから検査ヘッド16に返される反射光の光量に基づいてワークWの表面を検査する表面検査装置1に適用され、検査ヘッド16の異常の有無を診断する検査システム100において、検査ヘッド16の異常の有無を診断する診断装置200と、診断装置200が検査ヘッド16に異常があると判断した場合に検査ヘッド16の走査部16Bを交換する交換装置300とを備える。 (もっと読む)


【課題】検査ヘッドの部品の交換作業を迅速に実施でき、かつ検査ヘッドを組み立てる際の芯出し作業の負担を軽減し、又は解消することが可能な表面検査装置用検査ヘッドを提供する。
【解決手段】軸線AX回りに回転可能に支持されるヘッド本体16Aと、ヘッド本体16Aの先端に着脱可能に設けられ、かつヘッド本体16Aに同軸になるように装着される走査部16Bとを備えた検査ヘッド16において、ヘッド本体16Aの先端には、走査部16Bが挿入される挿入孔81bが中心に形成され、挿入された検査部16Bを把持する縮小状態と検査部16Bを解放する拡大状態との間で半径方向に拡縮可能であり、かつ挿入孔81bがヘッド本体16Aと同軸になるように配置される第2拘束部材81と、第2拘束部材81をヘッド本体16Aの先端側に付勢して縮小状態に変形させる第1拘束部材80及びスプリング82とが設けられる。 (もっと読む)


【課題】検査ヘッドの芯出し調整に要する負担を軽減することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査ヘッド16をワーク100に対して軸線方向とそれぞれ直交するX軸方向及びY軸方向に相対的に移動させるヘッド位置調整機構と、X、Y軸方向のそれぞれに関して、検査ヘッド16の先端から軸線方向に射出される検査光B1によりワーク100が内周面100aの輪郭上の二点を含む範囲にて走査されるようにヘッド位置調整機構の動作を制御し、X、Y軸方向の走査時に検出ユニットからそれぞれ出力される反射光の光量に対応した信号に基づいて、ワーク100の内周面100aの半径方向に関する中心位置を演算し、演算された中心位置に検査ヘッド16の軸線が一致するようにヘッド位置調整機構の動作を制御する演算処理部とを表面検査装置に設ける。 (もっと読む)


【課題】被検査物の表面の状態が検査精度に与える影響を抑えて被検査物表面の欠陥の検査精度を向上させることが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物の表面の2次元画像200内に含まれる画素201の濃度値に基づいて欠陥を識別する表面検査装置1において、2次元画像200内から注目画素201Aを選び出し、注目画素201Aの濃度値を注目濃度値として取得するとともに、2次元画像200内で注目画素201Aに対して所定の位置関係にある比較対象画素群GPcの平均的な濃度値を比較対象濃度値として取得する。注目濃度値と比較対象濃度値との比較に基づいて注目画素201Aが欠陥に相当するか否かを判別する。 (もっと読む)


【課題】検査精度を悪化させずに、検査ロッドを長くでき、かつ高速に回転させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置1は、被検査物100の穴100aに挿入可能な検査ロッド21と、検査ロッド21に設けられた反射鏡219と、検査ロッド21を支持する支持テーブル22と、を備える。検査ロッド21は、支持テーブル22に取り付けられた基部211と、反射鏡219を保持しつつ軸線CL回りに回転可能な状態で基部211に取り付けられた回転ヘッド212とを有し、回転ヘッド212に設けられたインペラー221に空気を吹き付けることにより回転ヘッド212を回転させる。 (もっと読む)


【課題】検査ヘッドの回転の振れに対する精度を高め、検査ヘッドを着脱等する際の芯出し作業の負担を軽減し、又は解消できる検査ヘッドの支持構造を提供する。
【解決手段】検査ヘッド16のベアリングハウス16bとヘッド支持筒8との間に一対のアンギュラコンタクト軸受20A、20Bを設け、軸受20A、20Bの外輪20o間にはスペーサ25及びばね受けリング26を設ける。スペーサ25及びばね受けリング26をコイルばね27によって外輪20o側に付勢する。スペーサ25と軸受20Bの外輪20oとの間にOリング28を配置し、その外周をベアリングハウス16bの内周に密着させる。ベアリングハウス16b内の段部16fと検査ヘッド16にねじ込まれるエンドキャップ29とによって外輪20oを拘束する。エンドキャップ29を取り外してベアリングハウジング16bと主軸部16cとを軸受20A、20B上から一体的に抜き取り可能とする。 (もっと読む)


【課題】被検査物を検査するための構成を利用して動作状態を自ら判別することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】軸状に延びる検査ヘッド16の外周から被検査物100に向かって検査光を照射するとともに、被検査物100からの反射光を検査ヘッド16を介して受光し、該反射光の光量に対応した信号を出力する検出ユニット5と、検査ヘッド16を軸線方向に移動させる直線駆動機構30と、検査ヘッド16を軸線の回りに回転させる回転駆動機構30とを備えた表面検査装置1において、検査ヘッド16が通過可能な貫通孔37aを有するサンプルピース37を検査ヘッド16の軸線方向の移動経路上に配置する。検査ヘッド16を軸線の回りに回転させつつ軸線方向に移動させてサンプルピース37の内周面を検査光で走査したときの検出ユニット5の出力信号に基づいて動作状態を判別する。 (もっと読む)


【課題】ミラーの清掃及び交換を安価で且つ容易に行うことのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】先端にミラー18が設けられた軸状の検査ヘッド16を駆動機構により軸線AXの回りに回転させつつ軸線AXに沿って移動させるとともに、検査ヘッド16内に前記軸線AXに沿って入射した検査光の光路をミラー18により変更し、光路が変更された検査光を被検査物に照射し、被検査物で反射して検査ヘッド内16に再度入射した検査光の光量に基づいて検査物の表面状態を検出する表面検査装置1において、検査ヘッド16が、駆動機構に取り付けられるヘッド本体70と、そのヘッド本体70に対して着脱可能に設けられ且つミラー18を保持する保持部71と、を備える。 (もっと読む)


【課題】検査ヘッドの回転軸線と被検査物である円筒体の中心線とを厳密に一致させなくても、周期的な濃淡のない二次元画像を得ることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置1は、被検査物たる円筒体100の内部に挿入されて、軸線AX回りに回転しかつ軸線AX方向に移動しながら、LD11から射出された検査光を内周面100aに投光しつつその反射光を受光する検査ヘッド16と、検査ヘッド16が受光した反射光の強度に応じた信号を出力するPD12と、を有し、PD12が出力した信号に基づいて内周面100aに対応した二次元画像を生成する。PD12が出力した信号から、軸線AXと円筒体100の中心線とのずれに起因した反射光の強度の揺らぎに対応する周波数成分を抽出し、その周波数成分と所定の基準値との差分に応じて検査光の強度が変化するようにLD11を制御する。 (もっと読む)


【課題】検査ヘッドの回転速度が変動した場合でも検査を実行することができ、検査精度を悪化せずに検査時間を短縮できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置1は、被検査物100の穴100aに挿入可能で、かつ長手方向に延びる軸線AX回りに回転可能な検査ヘッド16と、検査ヘッド16が被検査物100に対して軸線AX方向に相対移動するように検査ヘッド16を直線移動させる直線駆動機構30と、検査ヘッド16の回転位置を検出するロータリーエンコーダ43と、を備え、検査ヘッド16の一回転あたりの軸線AX方向に関する移動量が回転速度に拘わらず一定となるように、ロータリーエンコーダ43の出力信号に基づいて直線駆動機構30の動作を制御する。 (もっと読む)


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