【課題】柔らかい材質の粉末コーティング時にノズルが塞がる現象を最少化し、高硬度材質の粉末コーティング時にノズルの摩耗を防止することができて、ノズルを長時間使用できるので大量生産への適用が容易であり、長時間高品質のコーティングを実施できるコールドスプレー用ノズル及びこれを利用したコールドスプレー装置を提供する。
【解決手段】コールドスプレー用ノズル及びこれを利用したコールドスプレー装置は、断面積が収斂する収斂引入部２と、前記収斂引入部の収斂端部に連結されるスロート部４と、前記スロート部の端部に連結される出口部６とからなる中空型のノズル部１０及び前記収斂引入部の内部に位置し、その端部噴射口１２が前記スロート部またはこれを過ぎた出口部内に位置するように配置される噴射チューブ２０を含み、前記出口部での粉末の出口端流速が３００〜１，２００ｍ／ｓになるようにする。 （もっと読む）

本発明は無焼結窒化アルミニウム（ＡｌＮ）静電チャックおよびその製造方法に係わり、特に本発明はウエハーの加工時にウエハーを固定させるために使用する静電チャックにおいて、焼結工程や接着工程を行わずに誘電体を結合して使用することによって優れた静電特性を有すると共に優れた結合強度および熱伝導度を有する窒化アルミニウムのコーティング層が誘電体であることを特徴とする無焼結窒化アルミニウム（ＡｌＮ）静電チャックおよびその製造方法に関する。 本発明は、静電チャックにおいて、誘電体がコーティングによって生成される窒化アルミニウム（ＡｌＮ）であるので静電チャックの特性を向上させることができる窒化アルミニウム層を誘電体に使用するようになることによって、優れた静電特性および熱伝導性を有すると共に、これを焼結工程や接着工程を行わずに生成するようになるので優れた結合強度および熱伝導度を有する静電チャックを製作することができる。

（もっと読む）