説明

インテグリス・インコーポレーテッドにより出願された特許

1 - 10 / 124


【課題】ポンプの動作及び作用を確認し、これらの動作及び作用の適切な完了を迅速かつ正確に検出できる方法及びシステムを提供する。
【解決手段】ポンプ内の流体圧力を制御するシステムであって、第1段階ポンプと、その下流で第1段階ポンプと流体的に連通した第2段階ポンプと、第2段階ポンプにおける流体圧力を測定する圧力センサと、第1ポンプの動作を調節することによって第2段階ポンプにおける流体圧力を制御するポンプ制御装置とを備える。ポンプ制御装置は、圧力センサからの測定結果を受信することと、第2段階ポンプにおける分注チャンバ内の流体の圧力が第1の所定閾値に達した場合に、第1段階ポンプに、流体により低い圧力を加えさせることと、第2段階ポンプにおける分注チャンバ内の流体の圧力が第2の所定閾値を下回った場合に、第1段階ポンプに、流体により高い圧力を加えさせることと、を行うように動作可能である。 (もっと読む)


【課題】マニフォルドから複数のカートリッジの取り外しが容易な濾過カートリッジをもつ濾過モジュールを提供する。
【解決手段】浄化モジュール400は複数の浄化カートリッジ406、カートリッジ用のサポート402、マニフォルド422とボウル424から構成され、カートリッジ用のサポートは部分ねじ山416がねじ部片にねじ込まれるとき、マニフォルド上の勾配をもつねじ部片と噛み合い、サポートは濾過カートリッジからサポートを通ってマニフォルドへと濾過された流体を導くための流体通路を構成し、マニフォルドでサポート出口をシールする。 (もっと読む)


【課題】単一のセンサを使って流量を制御できるフロー制御装置を提供すること。
【解決手段】制御装置(30)は、フローを受け入れるための流入口(32);フローをフロー・システムの他の構成要素に導くための流出口(34);圧力低減エレメント(36);上流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント(36)の上流の圧力センサ(38);下流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント(36)の下流の圧力センサ(40);プロセッサ、メモリ、及び流体の流量を算定しバルブ制御信号を発生させるためのソフトウエア命令を包含させることが可能なコントローラ(42);ならびに、バルブ制御信号に反応して流体フローを調節する、ちょう型バルブ、油圧駆動バルブなどのバルブ(44)を含む。 (もっと読む)


【課題】広い表面積触媒、センサー、充填ベッドにおける汚染物質除去装置および流体に対する汚染物質除去膜として使用できる多孔質コンポジット材料を提供する。
【解決手段】多孔質基体材料120は、多孔質基体材料の一部分に侵入している粉末ナノ粒子材料130を有し、多孔質基体材料120内の粉末ナノ粒子材料130は、細孔内および/または多孔質基体材料120の表面上に多孔質焼結ナノ粒子材料を形成するために焼結されるか、あるいは相互溶融によって相互に連絡されている。好ましくは、この多孔質コンポジット材料は焼結ナノ粒子材料全体にわたってナノメートルサイズの細孔を含む。 (もっと読む)


【課題】FOUPとプロセスツールとの間のインタフェースのパージにもかかわらず、FOUP環境は、依然として、多数の源からの粒子状の汚染物質および空気中の分子の汚染物質(AMC)の両方の不純物の影響を受けやすい。
【解決手段】移送容器900は、筐体910と、浄化材料を含む浄化器960とを備え、浄化器960は、筐体910に取り付けられ、かつ筐体910内に流れる流体を浄化するように構成され、移送容器900はさらに、筐体910に取り付けられ、浄化器960を通って筐体910内へ流体を推進させるための流体推進手段930を備える。 (もっと読む)


【課題】ハウジング内に保持された金属スクリーンにより重合系膜支持体を利用する流体フィルタを提供する。
【解決手段】支持体30,40は、流体が通ることのできる開口を有している。金属支持体は、膜を損傷させないようバリが実質的に存在しない少なくとも1つの面を有するように形成される。この滑らかな面は、重合系膜50と連通している。1つ以上の割り出し突出部を外周に沿って追加し、支持体の間の相対的な動きを制限し、また、2つの支持体の開口を整合させることができる。 (もっと読む)


【課題】分注システムのコンプライアンスを補正することによって、ポンプによって分注される流体量における誤差を低減するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】分注レシピから分注容積量を決定することと、分注レシピに基づいて流体特性の値を決定することと、分注システムにおけるコンプライアンスを考慮した誤差容積と流体特性との相関関係から、流体特性の値に基づいて、誤差容積量を決定することと、分注モータを制御して、レシピから決定された分注容積量および誤差容積量を考慮した位置へ分注ポンプ内のピストンを動かすことにより、ノズルから流体の分注容積量を分注することとを備える、分注ポンプの分注容積における誤差を補正する。 (もっと読む)


【課題】ウエハー又はレチクルと協働して拡散バリアを与える最小の接触を含む支持構造及び環境制御手段を与える容器において、ウエハー又はレチクルの面上に置かれる微粒子を軽減する。
【解決手段】容器は、突起物を伴う平坦で研磨された表面を有するベースを含み、ウエハー或いはレチクルはこの突起物上に設置される。突起物は、ウエハー又はレチクルと最小の接触を与えるとともにウエハー又はレチクルをベースに浮かせる球としての配置を有し、それらの間にギャップを与える。このギャップは、ウエハー又はレチクルをベースの平坦で研磨された表面から分離するとともに微粒子のギャップへの移動を防止し、それによってウエハー又はレチクルの高感度面の汚染を防止する。拡散フィルタは、ろ材なしで圧力均一化を与える。トップカバー上の移動可能なレチクルのピンはレチクルを規定する。二重ポッドの実施態様によってさらなる分離及び保護が得られる。 (もっと読む)


【課題】ポンプ装置の種々の密閉空間内に生じ得る圧力上昇を補償するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、チャンバの容量を調整してチャンバ内の圧力上昇を補償するようにポンプ装置のポンプ手段を動作させることによって、ポンプ装置のチャンバ内の圧力上昇を補償することが可能である。より具体的には、一実施形態では、分配チャンバ内の流体に対する不要な圧力上昇を補償するために、ピストンを戻すように分配モータを逆回転して、分配チャンバ内のあらゆる圧力上昇を補償することが可能である。 (もっと読む)


【課題】低減された形状要因、緩徐な流体操作性、および流体使用量を減らしおよび信頼性を向上させる種々の特徴を有する多段式ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、形状要因を低減し、また信頼性および有用性を向上させる特徴を有するポンプを提供する。さらに、本発明の実施形態は、緩徐な流体操作特性のための特徴を提供する。本発明の実施形態は、モータ駆動の送液ステージポンプおよびモータ駆動の分注ステージポンプを有するポンプを含み得る。送液ステージモータおよび送液ステージモータは、各種のモータを含むことができ、またポンプは、回転ダイヤフラムポンプまたは他のポンプであってもよい。一実施形態によると、ポンプチャンバを画定する分注ブロックおよび種々の流通路は、単体の材料から形成することができる。 (もっと読む)


1 - 10 / 124