【課題】本発明は、試料溶液の濃度等を自動的に調整してオンライン供給する装置に関し、供給経路に試料溶液が残存するメモリーの問題を解消しつつ、試料溶液の逆流等も生じにくいものを提供する。
【解決手段】本発明は、分析対象の試料溶液の供給流路と、希釈液の供給流路と、試料溶液を濃度調整して得られる分析液を分析装置に供給する流路と、を備え、分析装置への分析液供給量と、希釈液供給量との差に応じて生じる負圧によって、試料溶液が流動することを特徴とする分析液の自動調整装置に関する。また、本発明は、分析液の流量センサー及び内標準液の供給流路を備え、微少量の内標準液も、正確に早く安定した液量で分析液に供給できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、同一装置により、エッチング工程と回収工程の両工程が行える、小型で簡易的な分析装置であって、基板に形成された膜の種類によらず分析可能であり、基板上の局所分析にも好適な分析装置を提供する。
【解決手段】本発明は、分析液を吐出及び吸引するノズル本体と、ノズル本体の外周に配された外管とからなる２重管ノズルを備え、回収手段は２重管ノズルのノズル本体であり、エッチング手段はノズル本体と外管との間に供給されるエッチングガスである基板分析装置に関する。本発明は、同一装置によりエッチング工程と回収工程の両工程を行うことができる分析装置であり、簡易的な分析や、基板の特定箇所についての局所的な分析にも好適である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、短時間で掃引可能なものとしつつ、掃引中において分析液も脱落しにくい基板分析用のノズルであって、ポリシリコン等の膜を備える基板の分析や、シリコンウェハー等の基材自体の分析にも好適なものを提供する。
【解決手段】本発明は、分析液を吐出及び吸引するノズル本体と、掃引する分析液を取り囲むようノズル本体の外周に配された外管とからなる２重管で構成され、ノズル本体と外管との間を排気経路とする排気手段を有するとともに、外管先端に外気導入孔を有することを特徴とする基板分析用のノズルに関する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリシリコン等の膜を備える半導体基板がエッチング可能であるとともに、ウェーハ基材のエッチングを抑制できる半導体基板の分析方法を提供する。
【解決手段】本発明は、フッ化水素の蒸気と、放電により発生させたオゾン含有ガスとを用いた気相分解法により分析対象物を含む半導体基板をエッチングし、エッチング後の半導体基板上に回収液を吐出し、回収液とともに分析対象物を回収する半導体基板の分析方法に関する。本分析方法によれば、微量の分析対象物の高感度な分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】汚染物質回収用の液体中の汚染物質の濃度が飽和しにくいノズルシステムを実現する。
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して試料表面の汚染物質を回収するノズルシステム(1)は、先端の押出口(122a)とはキャピラリー(122)で連通する液溜(120)を有するノズル(100)と、前記液溜の液体(140)の一部(140a)を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して試料表面(400)を掃引し、掃引の途中で前記液体を前記キャピラリーを通じて前記液溜に吸引して内部液体(140b)と混合・希釈し、混合・希釈後の前記液溜の液体の一部を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して掃引を再開する掃引手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】IH2の干渉がないヨウ素分析方法および装置を実現する。また、ヨウ素１２７の測定が連続しても検出器が劣化しないヨウ素分析方法および装置を実現する。
【解決手段】誘導結合プラズマ質量分析装置を用いてヨウ素を分析するにあたり、土壌試料(300)をアルゴンガス雰囲気中で加熱(100)してサンプルを気相状態にし、前記気相状態のサンプルをリアクションセル(240)付の誘導結合プラズマ質量分析装置(200)にそのまま導入して質量分析する。前記質量分析を、リアクションセル(240)のパラメータ設定により、検出感度がヨウ素１２７に関しては相対的に低く、ヨウ素１２９に関しては相対的に高い状態で行う。 （もっと読む）

【課題】掃引能率と液体の回収性が両立するノズルおよび液体回収方法を実現する。
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して回収するにあたり、前記ノズル（１００）として、外縁(３１２)が先端方向に突き出た端面(３１０)と、前記端面において外縁近くまで偏心した開口(３２２)を有するノズルを用いる。掃引後の液体の吸引は、前記ノズルを前記開口の偏心方向とは反対方向に試料表面に沿って相対的に移動させながら行う。 （もっと読む）

【課題】ポンプを用いずに液体を連続的に取出す方法および装置を実現する。
【解決手段】一端側が液体に浸漬された管路（１００）の他端側（３００）において外部から注入した気体を噴出させ、気流が生じる負圧の吸引作用を利用して液体を取出す。前記気体の注入圧は管路内の液体の流量が一定となるように調節される（５００）。前記流量は気泡が管路上の２箇所の検出点（１１２，１１４）を通過する時間差に基づいて計測される（１１０）。前記気泡は前記検出点において光学的に検出される。前記気泡は定期的に液体に混入される（１１６）。前記取出した液体から気体を分離する（６００）。前記分離された液体を希釈液と混合する（８００）。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡単な構成で、細管内を移送する流体の流速、流量等を検出することができ、分析・測定等のための各種流体を良好に移送できるようにする。
【解決手段】シリンジポンプ部１１により移送された溶離液ｋとシリンジポンプ部２０により移送されたサンプル液ｓとをインジェクションバルブ部１７で混合し、この混合液をカラムへ給送する流体移送装置において、上記シリンジポンプ部２０によりサンプル液ｓに気泡を混入させると共に、このサンプル液ｓを移送する管２２の所定の距離離れた２箇所に、１対の電極板Ｅａ，Ｅｂを有する検出部２４と２５を設け、この検出部２４，２５の電極板間の静電容量の変化から２箇所の気泡の通過点を検出し、これによってサンプル液ｓの流速、流量等を検知する。これにより、溶離液ｋ、サンプル液ｓ等の給送タイミングが調整できる。 （もっと読む）

【課題】標準溶液の混入量が精密に調節された試料溶液を供給する溶液供給装置を実現し、
【解決手段】溶液供給装置は、第１の流路（１０１）と第２の流路（１０２）とそれら２つの流路の途中をそれらの流路抵抗よりも大きな流路抵抗で連通させる第３の流路（１０３）とを有する混合手段（１００）と、第１の流路の一端側に連通し試料溶液を貯蔵する第１の貯蔵手段（１０）と、第１の流路の他端側に連通し試料溶液を吸引する吸引手段（２０）と、第２の流路の一端側に開閉弁（３１）を介して連通し標準溶液を貯蔵する第２の貯蔵手段（３０）と、第２の流路の他端側に連通し開閉弁の開状態および閉状態においてそれぞれ標準溶液を吸引および吐出するシリンジポンプ（４０）とを具備する。 （もっと読む）