説明

アイブルフォトニックス カンパニー リミテッドにより出願された特許

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化学式s[L]−x[P]y[M]z[N]p[T]の組成を有する強誘電体セラミック化合物およびその製造方法並びに強誘電体単結晶およびその製造方法を提供する。本発明による強誘電体セラミック及びその単結晶は、圧電性が大きく、電気機械結合係数が高く、かつ、電気光学係数の大きい緩和型強誘電体であり、無線通信用可変素子、光通信用素子、弾性表面波素子やFBAR素子、超音波探触子デバイス、微細変位制御用アクチュエータ、不揮発性メモリ素子、小型蓄電池などの製造に有用であり、特に、本発明による単結晶製造方法は、直径5cm以上の単結晶とその組成が非常に均一なウエハの製造を可能にし、商用化及び大量生産が図られる。
上記の化学式中、[P]は酸化鉛、[M]は酸化マグネシウムまたは酸化亜鉛、[N]は酸化ニオビウム、[T]は酸化チタンであり、[L]は、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウム、リチウム、リチウム酸化物、白金、インジウム、パラジウム、ロジウム、ニッケル、コバルト、鉄、ストロンチウム、スカンジウム、ルテニウム、銅、イットリウム、イッテルビウムからなる群から選ばれた単一物質またはその混合物であり、x、y、z、p及びsはそれぞれ、0.55<x<0.60、0.09<y<0.20、0.09<z<0.20、0.01<p<0.27、0.01<s<0.1を満足する範囲である。
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