説明

クオリティー ヴィジョン インターナショナル インコーポレイテッドにより出願された特許

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【課題】検査対象のレンズ越し照明システムを提供しつつ、水銀ランプのような大型の光源をより安全な小型の光源に置き換える。
【解決手段】照明システム38は、光学検査システムの対物系の一部を共有している。検査対象14を照明するため、複数のビーム形成光学系46が複数の有効光源44からの光を集め、対物系を通過させる。対物系は、上記検査対象から散乱した光を集めこの集められた光で対象の像を形成するために、前側リレーレンズ24と、後側リレーレンズと、前側リレーレンズと後側リレーレンズとの間に配置された対物系絞り26とを有している。上記対物系絞りを囲む上記ビーム形成光学系は、上記検査対象を照明するために求められる角度範囲内で不均一な光を配給するために、関連する有効光源とともに配置されている。 (もっと読む)


【課題】フィーチャとそれらに関連する幾何学上の寸法及び公差上の制約をわかりやすく表示する。
【解決手段】フィーチャの公称定義のグラフィック表示と、フィーチャの公称定義から導かれる公差ゾーンのグラフィック表示と、を含んでグラフィック表示する。 (もっと読む)


測定器具においてプローブを選択的に延出したり後退させるためのアクチュエータは、アクチュエータ本体とキャリッジとを備えている。このキャリッジは、上記本体にスライド可能に取り付けられる第一開口部と、プローブを有するプローブホルダーを収容する第二開口部とを有している。上記アクチュエータ本体を取り囲む上記キャリッジの第一開口部は、この開口部の内周に設けられた第一の複数の磁石を含んでいる。上記アクチュエータ本体は、送りねじと、この送りねじと噛み合う円形の送りねじナットと、この送りねじナットの外周に、上記第一の複数の磁石とほぼ位置を揃えて配置された第二の複数の磁石とを含んでいる。これら磁石は、上記キャリッジが上記アクチュエータ本体に対して十分変位できるように、これら磁石が上記キャリッジのさらなる動きを大きく制限しないように、配置されている。
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観察スクリーンに背後から投射するように構成された光学コンパレータは、検査されるテスト部品の光学画像を観察スクリーンに投射する光学プロジェクタと、画素化テンプレートパターンの光学画像を同観察スクリーンに投射するビデオプロジェクタとを結合する。このテンプレートパターンは、テスト部品の描画された設計仕様を含む。テスト部品の形状を設計された形状と視覚的に比較するために、テスト部品の画像と画素化テンプレートパターンの画像が、観察スクリーンに同時に投射される。
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重なり合う第一、第二のフィーチャーの境界に基づいて結合フィーチャー境界を形成する方法は、第一、第二の重なり合うフィーチャーの境界を公知の形状の線セグメントに分け、上記線セグメントによって形成された交差点を同定し、上記交差点のパラメータ座標を計算し、上記パラメータ座標に基づいて交差点評価の順序を決定すること、を含む。この方法はさらに、上記決定された順序における第一交差点を形成する線セグメントに基づき、第一クロス積を演算し、上記第一クロス積の数学符号にしたがって、結合フィーチャー境界の第一パスを選択すること、を含む。この第一パスは第一交差点から上記決定された順序での第二交差点へと延びている。上記方法はさらに、上記順序での第二交差点を形成する線セグメントに基づき第二クロス積を演算し、この第二クロス積の数学符号にしたがって、第二交差点から延びる、結合フィーチャー境界の第二パスを選択すること、を含む。上記結合フィーチャー境界は、上記第一、第二の交差点と、上記第一、第二パスを定める、上記第一、第二のフィーチャー境界のうちの少なくとも一つの、部分を含む。
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部分コヒーレンス干渉計は、測定の不明瞭性を解決するためのフォーカシング系を組み込んでいる。焦点検知ビームは、干渉計の測定ビームと共用の対物レンズを通して試験面まで送られ、試験面から戻される。明瞭な測定範囲は、所定の焦点誤差範囲と一致する。
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距離検出装置は、異なった範囲および分解能を有する、少なくとも2つのセンサを用いる。開示された実施例は、少なくとも4つの動作モードを実行しようとしている。第一モードにおいては、センサが1つだけ用いられる。第二モードにおいては、距離の閾値に至るまでは範囲が長く分解能が低い方のセンサを用い、閾値に至った時点で、範囲が短く分解能が高い方のセンサを用いる。第三モードにおいては、範囲が長いセンサと短いセンサが同時に用いられる。第四モードにおいては、低分解能プロファイルを用いて、高分解能センサで対象物を再度走査し、高分解能プロファイル測定を提供する。実施例においては、ビーム再方向付け装置を含むことで開示の方法を行い易くしており、好ましくは、センサと対象物を互いに相対移動させることが出来るサーボ位置決め系を備えている。
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改良型自動焦点システムおよび方法であって、下記の構成を備えている。
選択的に作動される実質的に単色の、少なくとも2つの出力波長を有し、対象物を照らすようにされた制御可能な光源。
上記対象物の一部分から反射される上記光源からの光を受け取り、上記受け取った光に応じて出力信号を生成するカメラ。
コントローラ。このコントローラは、上記カメラと上記制御可能な光源に接続され、上記カメラを位置付けし、上記対象物の第一部分を、選択的に作動される実質的に単色の、少なくとも2つの出力波長で順次に照らし、上記カメラを第二位置に移動し、上記対象物の第二部分を、選択的に作動される実質的に単色の少なくとも2つの出力波長で順次に照らす。
データプロセッサ。このデータプロセッサは、上記カメラに接続され、上記出力信号を受け取り、各位置について各波長と関連した上記出力信号を比較し、上記比較から焦点パラメータを求める。
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フォーカスを維持しながら対象物を順次画像化する装置は、選択可能な画像取得モードを有するカメラと、上記カメラに光学的に接続された対物レンズと、上記対物レンズを通して動作する光学距離センサと、ストロボ照明器と、上記カメラと、上記照明器と、上記距離センサに接続されたコントローラを備えている。上記コントローラは、上記距離センサをシーケンシャルに作動し非作動にし、上記距離センサが非作動状態にある時にのみ、上記画像取得モードの選択と非選択を行ない、上記画像取得モードが作動している時にのみ、上記ストロボ照明器を作動し非作動にする。
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測定座標系内で集めた測定データを、測定の不確実性を考慮に入れて、幾何公差域に適合させる。測定データを適合させるための幾何学的自由度を用いて、測定データに関連した不確実領域を公差域内に適合させる。典型的には、測定データは多次元であり、不確実領域は異なったサイズを有する。
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