説明

ナガヤマ アイピー ホールディングス エルエルシーにより出願された特許

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【課題】安定で、かつ高分解能の位相差電子顕微鏡像の取得が可能な位相板及びその製造方法、並びに位相差電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】開口部を有する支持体12上に、その開口部12aの少なくとも一部を覆うように、例えば非晶質炭素などからなる導電性の芯位相板11が担持されると共に、裏面及び開口部を覆うように、例えば非晶質炭素などからなる導電性強化薄膜13を形成して位相板10とする。その際、導電性強化薄膜13は、斜め方向から膜材料を飛来させて形成する。そして、この位相板10を、位相差電子顕微鏡の対物レンズ及び試料を通過した電子の通路に配置する。 (もっと読む)


【課題】直流超高圧電源、直流加速管及び多数の超高圧用電磁レンズを使用しなくても、超高圧に加速された電子線による試料観察が可能な対物レンズ系及び電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電磁レンズからなる1対の対物レンズ(対物前方電磁レンズ2a,対物後方電磁レンズ2b)の入射側に、マイクロ波空洞からなるマイクロ波加速器3を配設すると共に、出射側にマイクロ波空洞からなるマイクロ波減速器4を配設する。そして、これらマイクロ波加速器3及びマイクロ波減速器4の空洞に、高周波電力源5から導波管6を介して、相互に位相が異なるマイクロ波を供給する。 (もっと読む)


【課題】電子線損失をより効果的に防止し、低圧から高圧まで広範囲の加速電圧に適用可能で、製造上の困難性を伴わず、実用化が可能で高コントラストの像を得ることを可能とする電子顕微鏡用位相板を提供する。
【解決手段】この出願の発明による電子顕微鏡用位相板は、開口部を有する支持体(14)の該開口部に、磁性体細線リングの一部または磁性体細線棒(15)を架橋させてなり、前記磁性体細線リングまたは磁性体細線棒(15)がベクトルポテンシャルを生成し、磁性体細線リングの架橋している部分または磁性体細線棒(15)の左右両側をそれぞれ通過する電子線間に位相差を形成させる。 (もっと読む)


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