説明

アルゴール アルジャバ ソシエテ アノニムにより出願された特許

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真空チャンバ中に物品を載置し、チャンバを排気し、加速イオンで物品の表面を処理し、処理表面上に後に形成する層を接着させる材料層を形成し、グラファイトカソードでパルス電子−アーク放電を開始し、カソード表面に沿って動く複数のカソードスポットから炭素プラズマのパルス流を生成し、物品表面の所定領域に炭素プラズマを収束して超硬質非晶質炭素被膜を形成し、物品温度を、電子−アーク放電パルスの繰り返し周波数を制御することによって200から450Kの範囲内に維持する工程を含む真空中での超硬質非晶質炭素被膜を形成する方法であって、炭素被膜を形成する工程において、炭素プラズマのパルス流が、23から35eVのイオン平均エネルギー、1012から1013cm-3のイオン濃度を有し、炭素プラズマ流の軸が、物品の所定表面に対して15から45°の角度傾斜させ、被膜の形成工程において、物品の温度変化Δtが、50から100Kの範囲内で維持することを特徴とする方法。 (もっと読む)


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