メインチャンバ（１０２）と、ロードチャンバ（１０６）と、流体堆積チャンバ（１０８）と、環境コントローラ（１１０）とを含むクラスタツール（１００）が記述される。ロードチャンバ（１０６）は、メインチャンバ（１０２）と結合され、１つ以上の基板を受け取るように構成される。流体堆積チャンバ（１０８）は、メインチャンバ（１０２）に結合され、１つ以上の基板上に流体を堆積させるように構成された流体堆積デバイス（３０７）を含む。ロボット（１０４）は、メインチャンバ（１０２）の中に含まれ、該ロボット（１０４）は、ロードチャンバ（１０６）と流体堆積チャンバ（１０８）との間で１つ以上の基板を移送するように構成される。環境コントローラ（１１０）は、クラスタツール（１００）内の実質的に自律的な環境を維持するように構成される。
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プラテン（１０２）およびカートリッジ搭載アセンブリ（１０４）を含む流体堆積デバイス（１００）が記載されている。プラテン（１０２）は、流体が堆積される基板を支持するように構成されている。カートリッジ搭載アセンブリ（１０４）は、プリントカートリッジ（１１４）を受け入れるように構成されたソケット（１２２）と、プリントカートリッジ（１１４）上の対応する電気的接触と組み合わさるように構成された複数の電気的接触（１２４）とを含んでいる。１つの実装において、カートリッジ搭載アセンブリ（１０４）は、プリントカートリッジ（１１４）に含まれる真空入口と組み合わさるように構成された真空コネクタ（１３１）をさらに含んでいる。プリントカートリッジがソケットに受け入れられるとき、プリントカートリッジは、電気的接触と、ソケットの真空コネクタ（１１３）との接続を実質的に同時に形成し得る。
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第一のプリントヘッドおよび第一の流体源を含む第一の液滴噴射堆積システムからの第一の堆積を有する液体の噴射と、第一の液滴噴射堆積システムのために様々な噴射条件における液体の挙動についての情報の収集と、選択された噴射条件における第二のプリントヘッドおよび第二の流体源を含む第二の液滴噴射堆積システムからの第一の物質組成を有する液体の噴射とを含む方法である。第一のプリントヘッドは少数の流路を有し、第一の流体源は少量の液体を保持するよう構成されている。第二のプリントヘッドは複数の、実質的に同一の流路を有しており、各流路は少数の流路の少なくとも一つと実質的に同一であり、第二のプリントヘッドには第一のプリントヘッドよりも大幅に多い流路が存在する。
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内部表面（１５０）と、外部表面（１６０）と、内部表面（１５０）に接触する流体が排出されることを可能にするオリフィス（１４０）とを有する流体エゼクター（１０５）。流体エゼクター（１０５）は、流体エゼクター（１０５）の外部表面（１６０）の少なくとも一部分をカバーし、流体エゼクター（１０５）のオリフィス（１４０）を囲む、非湿性単一層（１７０）を有する。非湿性単一層の組立ては、流体エゼクターのオリフィスを囲む第１の領域に非湿性単一層を残しながら、流体エゼクターの第２の領域から非湿性単一層を除去すること、または流体エゼクターの第２の領域をそこに形成される非湿性単一層を有することから保護され、この場合、第２の領域は流体エゼクターのオリフィスを囲む第１の領域を含まない。
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【課題】複数のインキジェットモジュールを含むインキジェット印刷ヘッドにおいて、各インキジェットモジュールのインキの流れを個々に遮断できるようにする。
【解決手段】インキジェット印刷ヘッド２が、インキ送り装置２０と、インキ送り装置２０に接続された、第１のインキジェットモジュール５４と第２のインキジェットモジュール１５４を含んでいる。インキ送り装置２０は、第１のインキジェットモジュール５４へのインキの流れを選択的に遮断する第１の遮断装置と、第２のインキジェットモジュール１５４へのインキの流れを選択的に遮断する第２の遮断装置を有している。 （もっと読む）

【課題】インキジェット印刷ヘッド内のインキの脱気を改善するとともに、インキジェット印刷ヘッドの印刷品質を向上させる。
【解決手段】インキジェット装置４０が、インキジェット印刷ヘッド４２と、インキ通路５８と薄膜５２と真空室５４を有する脱気装置５０を含む。インキ通路５８は、インキジェット印刷ヘッド４２に接続された出口４８と、入口５６とを有し、薄膜５２は第１の面８２と第２の面８４を有している。第１の面８２はインキ通路５８内のインキに接し、第２の面８４は真空室５４に接している。インキ通路５８の入口５６は出口４８の上方に位置している。 （もっと読む）

流体排出システムは、レシーバを第一の方向に搬送するように構成されたレシーバ搬送システムと、該レシーバの第一の表面上に流体滴を堆積する流体排出ノズルの第一のセットを備える第一の流体排出ヘッドと、該レシーバの第二の表面上に流体滴を堆積する流体排出ノズルの第二のセットを備える第二の流体排出ヘッドとを含む。該流体排出ノズルの第一のセットは、該第一の方向に実質的に平行である該第一の表面のエッジまで少なくとも延びる第一の領域に分布される。
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インクジェット印刷システムは、インク滴を排出する１つ以上のノズルを含むインクジェットプリントヘッドを備える。基板は、該ノズルに隣接する。該基板は、溶媒によって湿らされるのに適合され、該ノズルの近傍に溶媒蒸気を生成する。該基板が該溶媒で湿らされるとき、該溶媒蒸気が、該ノズルと該基板との間のギャップ内にあり、該ギャップが、該ノズルと該基板との間で維持されるように、該インクジェットプリントヘッドおよび該基板が構成される。
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流体排出システムは、第一の流体滴を排出することが可能な流体排出ノズルの第一のセットを含む第一のノズルプレートを備える第一の流体排出ヘッドと、第二の流体滴を排出することが可能な流体排出ノズルの第二のセットを含む第二のノズルプレートを備える第二の流体排出ヘッドとを含む。該第二のノズルプレートは、該第一のノズルプレートと実質的に対向する。該流体排出ノズルの第一のセットは、該流体排出ノズルの第二のセットからオフセットされる。
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滴下排出システムは、流体排出ヘッドからの流体パージおよびその他のシステム動作を高めるために流体フローを調整し得るフローレギュレータを含む。滴下排出システムは、複数のノズルを有する滴下排出ヘッド、ポンピングチャンバ、およびノズル外に負圧を生成することによって流体をノズルからパージする能力のある流体パージユニットを含み得る。フローレギュレータは、流体がノズルからパージされる場合、滴下排出ヘッドへの流体フローの流体抵抗を増加し得る。
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