説明

オイ コーポレイションにより出願された特許

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質量分析計のような分析機器であって、この機器は、制御可能な電磁場を有する磁気セクションを有する。この電磁場を制御することは、その磁気セクション内のベースプレートの温度を制御することにより、この磁気セクション内に配置されるコイルを通過する電流を制御することにより、磁気分路子を磁石のヨークの一部にわたって配置することにより、あるいは単独にまたは組合せて上記のもののいずれかにより達成される。磁気分路子は、この磁気セクション内に置かれた第1の対の永久磁石の、残留磁束密度の温度係数とは反対の残留磁束密度の温度係数を有するような構成である。
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質量分析計の焦点面検出器アセンブリは、この質量分析計の焦点面を横切るイオンを検出するような形態の検出器、およびこの焦点面に平行な平面に、この質量分析計の磁石を出るイオンが、上記イオン検出器と接触する前に上記メッシュを通過するように位置決めされるように横たわる電気伝導性メッシュを含む。このメッシュは、回路接地に対して低電圧電位で維持され、これは、マイクロチャネルプレート電子増倍管のようなその他のデバイスからの高電圧電荷から上記磁石を通過するイオンを遮蔽する。このメッシュは、上記磁石に直接取り付けられ得るか、またはいくらか離れた距離に位置決めされる。上記検出器のアレイは、ファラデーカップ検出器アレイ、ストリップ電荷検出器アレイ、またはCCD検出器アレイを含む、任意の適切なデバイスを含み得る。
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減圧チャンバー内のイオンのような陽性粒子および陰性粒子両方を測定するために適切な質量分析計。この質量分析計は、この陽性粒子および陰性粒子を分離するために適切な方向を有する適切な磁束をもつ継鉄のギャップを提供する整調可能な常磁性セグメントを備える。極性を変えることは、これらイオンの飛行を調節する。従って、負に荷電したイオンおよび正に荷電したイオンは、反対の極性の下で類似の飛行経路に従い、単一アレイの検出器の使用を可能にする。上記ギャップに適切な磁束を提供するために、上記整調可能な常磁性セグメントに代えて、またはそれに加えて、1つ以上のコイルが用いられ得、そして/またはこの整調可能な磁性セグメントの整調プロセスを容易にする。検出器は、検出器領域、2荷電モード増幅器、第1および第2のCCDシフトレジスターを備え得る。
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