【課題】Ｘ線反射率測定等において、試料から散乱されるＸ線ビームを限定するアパーチャの位置、サイズを容易に決定することができる。
【解決手段】試料（２０４）からの偏向Ｘ線ビーム（２０６）を検出するためのＸ線検出システム（４００）であって、検出器（４０２）でＸ線ビームエリアを受信可能とされた画素アレイを有する検出器（４０２）と、試料画像を検出器（４０２）から読み出す画像処理手段（４０４）と、第１のエリアのサブ画像を試料画像から抽出する対象領域抽出手段（４０６、４０８）とを備える。サブ画像は、一般に「仮想アパーチャ」画像を得るための画素アレイの狭い細片か、あるいは「仮想アパーチャ」画像を得るための画素アレイの円形エリアである。検出器（４０２）から取り込んだ試料画像から複数のサブ画像を抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】相対距離および軸線の交差精度だけでなく角度の精度制御を必要とするＸ線計測および検査で用いる位置決め装置を提供する。
【解決手段】それぞれが構台（３４）にそって可動な２個の離間された平行な線形アクチュエータ（３２、３６）を含む装置により、Ｘ線源（２４）、検出器（２６）および試料（２０）が互いに位置決めされる。線源（２４）および検出器（２６）は、アクチュエータ（３２、３６）により垂直方向に、回転アクチュエータ（２８、３０）により回転して移動可能である。同等の配置も説明されている。 （もっと読む）