【課題】
本発明は、フィルムタイプのプローブユニットとその製造方法及び被検査体の検査方法に関し、より詳細には、微細ピッチである駆動ＩＣの配線のうち互いに異なるシグナルが印加される配線間にマージンを形成し、被検査体の電極に正確なシグナルを印加できるフィルムタイプのプローブユニットとその製造方法及び被検査体の検査方法に関する。
【解決手段】
本発明に係る被検査体を駆動させる駆動ＩＣに形成された配線を前記被検査体の電極に接触させて検査するフィルムタイプのプローブユニットは、前記配線のうち少なくともいずれか１つは、前記電極に電気的に接触しないダミーであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】集積回路フィルム部の電極ピッチを容易に拡張させ、これを被検査体のパッドに形成された電極ピッチと同一にすることができる集積回路接触プローブユニット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】プローブブロックと；前記プローブブロックに固定され、被検査体のパッドに直接接触する第１の電極部と、駆動ＩＣと、第２の電極部とを含む集積回路フィルム部と；前記第２の電極部に電気的に連結されるフレキシブル回路基板と；を含み、前記第１の電極部の各電極が前記パッドの各電極に接触できるように、前記第１の電極部の電極ピッチが拡張されたことを特徴とする集積回路接触プローブユニットを構成する。 （もっと読む）

【課題】ビジュアルテスト及びグロステストを一つの装備で順次に行える平板型ディスプレイ検査方法及び平板型ディスプレイ検査用ユニットを提供する。
【解決手段】平板ディスプレイパネルを、検査用パッドに搭載するローディング過程と、検査用パッドに、平板型ディスプレイ検査用ユニットを搭載した後に、グロステスト用ユニットの探針からパッドのチャネル部へ電源及び制御信号を印加し平板ディスプレイパネルにグロステスト画面が出力されるようにし、グロステスト画面から平板ディスプレイパネルの不良状態を検出するグロステスト過程と、ビジュアルテスト用ユニットをパッドのチャネル部に接触させそのチャネル部のパッドを短絡することによって平板ディスプレイパネルにビジュアルテスト画面が出力されるようにし、ビジュアルテスト画面からパネルのライン不良及びセル不良を検出するビジュアルテスト過程とからなる。 （もっと読む）