【課題】ガラス表面に隣接する雰囲気中の水蒸気による、または水蒸気の存在下で生じるガラス表面の腐食を低減または遅延させる。
【解決手段】本発明は、冷却プロセスの少なくとも１つの部分領域をコンディショニングするための方法であって、１）少なくとも１つのコンディショニング用ガスを用いるコンディショニングを、水の存在下で腐食し得る成形体の少なくとも一つの表面上に、少なくとも冷却プロセスの一部の間、行う工程と、２）少なくともコンディショニング用ガスが冷却プロセス領域に入る際および/またはコンディショニング用ガスが成形体表面に当たる際に、コンディショニング用ガス内絶対含水量を最大でコンディショニング用乾燥ガス１ｋｇにつき６ｇの水分の範囲に調整する工程とからなる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの基板（３）、特にガラス基板をコーティングするために用いられる少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）をクリーニングする方法および装置に関する。この発明によれば、少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）は、コーティングプロセスの前に、調整パージガス（１５）によって洗い流される。 （もっと読む）