説明

イーエルティー インコーポレイテッドにより出願された特許

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光空洞と、これを利用して製造された気体セルを開示する。光空洞は、気体の光吸収特性を利用して気体の濃度測定をする気体セルの中で最も重要な要素である。気体セルは、二つの2次関数放物線状の凹面鏡を有し、これら凹面鏡は焦点と光軸を共有する。焦点に向かって入射した光は、光軸と平行に進みうるように二つの凹面鏡によって反射され、一方、光軸と平行に入射した光は、二つの2次関数放物線状凹面鏡によって反射されて焦点を通過しうる。光空洞は、二つの2次関数放物線状の凹面鏡を有する。これら凹面鏡は、焦点距離は異なるが、その反射特性を利用することで焦点を共有しうるように互いに向き合うように配置される。
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非分散形赤外線ガスセンサ用の特有な光キャビティと、二酸化炭素濃度が100ppmから2,000ppmでの試験結果を開示している。提案するセンサモジュールは、パルス継続時間が500msのときに最大電圧を示すが、パルス継続時間が200msで最大部分電圧変化量が得られ、18,000倍の増幅率を示す。二酸化炭素濃度が100ppmから2,000ppmの間で、センサモジュールの電圧差(V)は、パルス継続時間が200msでターンオフ時間が3秒のときに200mVとなる。
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