開示された電気検査装置の製造方法は、犠牲基板をパターニングして貫通ホールを有する犠牲基板パターンで形成する。続いて、前記犠牲基板パターンの貫通ホールに電気検査装置用基板の内部配線が整列するように前記犠牲基板と前記電気検査装置用基板を位置させた後、前記犠牲基板パターンと前記電気検査用基板を固定させる。そして、前記犠牲基板パターンの貫通ホール内に前記電気検査装置用基板の内部配線と電気的に接続される埋め立て構造物を埋めた後、前記犠牲基板パターンを除去して前記電気検査装置用基板上に内部配線と電気的に接続される埋め立て構造物を電気検査装置用プローブ構造物で形成する。
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【課題】半導体素子及び平板ディスプレイ装置を検査するプローブカードを提供すること。
【解決手段】本発明によるプローブカードは、第１基板構造物、第２基板構造物、及び複数の接続体を含む。第１基板構造物は、内部の信号ラインと連結される導電膜が内壁に形成された複数の接続ホールを有する。第２基板構造物は、上部に接触パッドを有し、下部に検査対象体と直接接触する複数のプローブを有する。接続体は、第２基板構造物の接触パッドに固定される第１接続部、及び第１接続部と連結されて第１基板構造物の接続ホールに挿入されて導電膜と接触する第２接続部を含む。よって、接続体の垂直反力によって第２基板構造物が変形されることを防止することができる。 （もっと読む）

本発明はカンチレバー型プローブ製造方法を提供する。この方法によれば、基板のチップ部領域及びダミーチップ部領域にそれぞれ溝を形成した後、チップ部領域及びダミーチップ部領域の溝をそれぞれ充填するチップ部及びダミーチップ部を形成する。ダミーチップ部が形成されたダミーチップ部領域を覆う犠牲膜を形成する。チップ部に接続しつつ、犠牲膜が形成されたダミーチップ部の上部に延長するビーム部を形成する。チップ部領域の基板を選択的にエッチングして、チップ部を基板から浮遊させるステップを含む。これにより、プローブカードを製造する過程でチップ部に加えられる物理的及び化学的損傷が最小化されることにより、チップ部の不良が少なくなり、安定したプローブカードを提供することができる。
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【課題】 パターンポリマー基板の染み欠陥及びヴォイド欠陥に対して、正確且つ迅速な修理方法を提供する。
【解決手段】 第１表面及び第２表面を有し、前記第１表面上にパターン層が形成された透明なポリマー基板を供給する。その後、前記ポリマー基板のパターン層及び第１表面に、染み（ｓｐｏｔ）欠陥及びヴォイド（ｖｏｉｄ）欠陥を含む欠陥を検出する。そして、レーザー照射によって前記染み欠陥を除去し、前記ヴォイド欠陥を小修正（ｔｏｕｃｈ−ｕｐ）する。 （もっと読む）

【課題】 プローブを多層回路基板の、微細なピッチを有するバンプ層パターンに付着するためのプローブボンディング方法において、半田ペーストを十分供給し、かつ半田ペーストによるバンプ層パターンの短絡を防止する。
【解決手段】 多層回路基板の端子上に形成されたバンプ層パターン上に半田ペーストに対する濡れ性を有する第１濡れ層パターン及び半田ペーストに対する濡れ性を有しない非濡れ層パターンを各表面が露出するように形成する。第１濡れ層パターン及び非濡れ層パターン上に半田ペーストを塗布した後、検査対象物と接触するプローブを半田ペーストにボンディングする。非濡れ層パターン上の半田ペーストを濡れ層パターン上にリフローして第１濡れ層パターン上に接着層パターンを形成する。 （もっと読む）

半導体検査のためのテスト装置のプローブカードが開示される。本発明のプローブカードは、外部から電気的信号が印加されるプリント回路基板と、検査対象体（チップパッド）と直接接触する複数のプローブを有するスペーストランスフォーマと、プリント回路基板とスペーストランスフォーマのプローブとを相互電気的に連結する相互接続体と、を含む。前記スペーストランスフォーマは、前記プローブが一面に設けられた個片基板と、該個片基板が同一平面上で大面積基板に組立てられるように、個片基板を相互結合させて一体化する結合部材と、を含む。上記のような構成を有する本発明のプローブカードは、基板（Ｗａｆｅｒ）に形成された全体半導体チップに対して一括的にテストできるだけでなく、大面積でありながら平坦度が高いという長所がある。

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【課題】本発明は、測定対象物に接触する複数のプローブが設けられる、プローブカードのプローブ基板に対して、チャンネルの一部が損傷した場合でも補修して再使用を可能にし、交換費用を節減できる、プローブカードのプローブ基板及びその基板の再生方法を提供する。
【解決手段】本発明によるプローブ基板は、プローブと電気的に連結される複数のメインチャンネル及び複数のメインチャンネルのうち損傷したメインチャンネルに代わり得る少なくとも一つの予備チャンネルを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ディスプレイパネルが置かれたカセットの運搬による作業者の安全性及びディスプレイパネルの安全性を確保する。
【解決手段】 ディスプレイパネルが搭載されたカセットが移送されるコンベヤ部と、コンベヤ部の両側に配置され、カセットからディスプレイパネルの提供を受けてディスプレイパネルの検査を実施する検査装備と、検査装備にカセットを供給するためにカセットをコンベヤから離隔して検査装備に提供する供給部材を含むものの、供給部材は、コンベヤに置かれたカセットを支持するテーブルと、カセットがコンベヤから持ち上げられるようにテーブルを昇降させる昇降部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】静電気による導光板と拡散板の吸着現象を防止することが可能な液晶表示パネルが載置される検査ステージを提供する。
【解決手段】上面に検査のための液晶表示パネルが搭載されるワークテーブル、ワークテーブルの底面に配置されるバックライトユニット、ワークテーブルに設けられる第１光学板と第１光学板の上部に置かれる第２光学板及び第１光学板の高低を調節するための高低調節部材を含む。 （もっと読む）

【解決手段】プローブカード及びその製造方法を提供する。前記方法は、複数の導電パターンが形成された基板上に、導電パターンに電気的に接続するソルダーバンプを形成し、ソルダーバンプにより支持されながら導電パターンに接続するプローブを形成した後、ソルダーバンプを溶融することでプローブを基板に固定するステップを含む。このとき、ソルダーバンプを形成するステップは、所定のフォト及びエッチング工程を用いてソルダーバンプを同一な大きさ及びパターンに形成するステップを含む。
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