説明

アドハンド株式会社により出願された特許

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【課題】主ろ材を通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス除去剤を封入させてなるものとしながら、この主ろ材から生じる可能性のある塵埃の問題を簡素な構造をもって確実に解消できるようにする。
【解決手段】主ろ材1と、メンブレンフィルタよりなる副ろ材2と、容器Cの通気部Caに蓋状に嵌め付けられる両端を開放させた筒状主体30とその筒一端30aを巡る外鍔部31とを備えてなる合成樹脂製のベース3と、キャップ口40側にベース3の外鍔部31への組み合わせ部40aを備えると共にキャップ底41にエアの通し部41aを備えてなる合成樹脂製のキャップ4とを備えている。副ろ材2はベース3の筒一端30aを覆った状態でベース3の外鍔部31に溶着されていると共に副ろ材2とキャップ4のキャップ底41との間に主ろ材1を納めて、ベース3とキャップ4とを一体化させてなる。 (もっと読む)


【課題】レチクル収納容器内部に設置する汚染物質等を吸着し除去するケミカルアブソーバーを容易に交換可能とする手段を提供する。
【解決手段】ケミカルアブソーバーを挟持するカートリッジ本体およびストッパーからなるカートリッジをレチクル収納容器の蓋体の側面にピン部および溝部の結合により固定する。カートリッジはケミカルアブソーバー抜け防止機構を有し、ケミカルアブソーバーは抜け防止機構で確実に抑えられてカートリッジに固定される。抜け防止機構は、少なくとも1つ以上の突起を有する抜け防止突起部、および突起を受け、突起に対応する少なくとも1つ以上の凹部または平面を有する抜け防止溝部からなる。さらに、カートリッジはヒンジ部を有し、レチクル収納容器の蓋体角部にも設置することが可能である。連結部を介してカートリッジ本体とストッパーを一体として成形することもできる。 (もっと読む)


【課題】ケース本体と蓋体との間の隙間が弾力性のあるシール部材により全周にわたってシールされていても、衝撃等を伴うことなく蓋体をケース本体からスムーズに取り外して開放することができるレチクルケースを提供すること。
【解決手段】ケース本体1と、蓋体2と、解除自在なロック部材3(3A)と、ロック部材3(3A)が解除状態にされた時に蓋体2をケース本体1から押し上げるようにケース本体1と蓋体2との間に配置されたケース開放ばね15と、が設けられている。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハに悪影響を及ぼす汚染ガスを、シンプルでかさばらない低コストの構成で容器内の空間から効率的に除去することができ、さらに、そのような汚染ガス除去を使用環境等に対応して選択的かつ効果的に行うことができるウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】蓋体2の内壁面とウエハ支持体7とで形成された少なくとも一つの空間において複数の半導体ウエハWの軸方向に伸びた略全範囲にわたって、特定のガス成分を吸着するための少なくとも一種類のケミカルアブソーバ19が配置されている。このケミカルアブソーバ19の補強フレーム15、16に形成されたアブソーバ係止部18によってウエハ支持体7に取り付けられている。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハに悪影響を及ぼす汚染ガスを、シンプルでかさばらない低コストの構成で容器内の空間から効率的に除去することができ、さらに、そのような汚染ガス除去を使用環境等に対応して選択的かつ効果的に行うことができるウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】蓋体5の内壁面に形成された凹部8内の空間が、ウエハ押さえ部材10により複数の半導体ウエハWの軸線に対して略平行方向に伸びた複数の領域に仕切られて、特定のガス成分を吸着するための少なくとも一種類のケミカルフィルタ20がウエハ押さえ部材10によって仕切られた凹部8内の少なくとも一つの空間内に略全範囲にわたって配置されている。 (もっと読む)


【課題】フォトマスクなどの収納容器内に、格別のスペースを要することなく、また、フォトマスクなどに悪影響を及ぼす要因を増やすことなく、容易に備え付け可能なガス除去具の提供。
【解決手段】ポリテトラフルオロエチレンを主体として構成されるシート体1aからなる通気性を備えた扁平袋体1と、この扁平袋体1内に封入される活性炭シート2と、扁平袋体1の外側に巻き付けられた周回テープ体3とを備えている。この周回テープ体3の外面の一部には、吸盤機能を持った発泡プラスチック層3b’よりなる吸着面3aが形成されていると共に、扁平袋体1における周回テープ体3の巻き付け箇所1fに位置される縁部には、扁平袋体1の内部に至らない深さで、かつ、周回テープ体3の巾と略等しいかそれより広い巾を持った切り欠き部1gが形成されている。 (もっと読む)


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