試料の画像データを処理する方法が開示されている。当該方法は、前記試料の少なくとも一部が重なっている複数の空間領域の第1画像と第2画像とのレジストレーションを行う手順、及び、前記のレジストレーションされた画像からのデータを処理することで、前記第1画像と第2画像から得られる画像に加えられる前記試料についての情報を有する合成画像データを取得する手順を有する。
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SMAアクチュエータ（2）用の制御器（44）は、SMA素子（8）を通る電流を印加する電源（46）と、素子（8）の電気抵抗変化を検出するセンサ（48）と、印加電流を制御する調整器（50）と、を有する。調整器（50）は、電気抵抗に選択された変化が検出されるまで、素子（8）の安全限界電流を超える第1の電流を印加し、前記変化が検出された後に、第1の電流よりも小さな第2の電流を印加する。
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