【課題】粒子線とターゲットとの衝突点と、規定された衝突点とのずれが減じられており、ターゲットとの衝突点に関して粒子線の位置安定性も改善されているものを提供する。
【解決手段】互いに垂直な２つの軸線（Ｘ軸線及びＹ軸線）に沿って粒子線を偏向するためのそれぞれの偏向ユニット（２６，３２）が、次のように形成されている、すなわち、第１の偏向点（２０）と第２の偏向点（２２）とが、粒子線（１２）とターゲットとの規定された、又は規定可能な衝突点（２４）と同軸線上に位置しているように形成されているようにした。 （もっと読む）