ノース キャロライナ ステート ユニバーシティにより出願された特許
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制御される新たな微細構造を有するαタンタルフィルムおよびβタンタルフィルムを形成する方法
新たな微細構造を有する薄膜タンタルフィルムが提供される。該フィルムは、ナノ結晶、単結晶および非晶質等の微細構造を有する。このようなフィルムは、非常に良好な拡散バリア特性を有し、マイクロエレクトロニクスデバイスにおいて有利である。パルスレーザ沈着法(PLD)および分子ビームエピタクシー(MBE)沈着法を使用してこのようなフィルムを形成する方法と、このようなフィルムを含むマイクロエレクトロニクスデバイスも提供する。
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