アトムプローブは、分析されることになる試料を保持できる試料マウントを含む。検出器は試料マウントから離間して配置される。アパーチャを有する局所電極は検出器と試料マウントとの間に設置される。レーザは、アパーチャの平面に対して非ゼロ角度で試料マウントに向けてレーザビームを放出するように配向され、アパーチャ平面は、試料マウントと検出器との間でアパーチャを通って定められたイオン進行経路に対して直角方向に配向される。 （もっと読む）

レーザ原子プローブ（１００）には、試料台および検出器（１０６）間に対極が配置され、対極（１０８）の開口（１１０）を通して試料（１０４）に照射を行うようビーム（１２２）が位置合わせされたレーザ（１１６）が設けられる。そして検出器および試料台（１０２）は、試料のイオン化のためにパルス駆動される。イオン出発時間および到着時間を定めるのにレーザパルスのタイミングを用いることで、イオンの質量／電荷比の決定が可能となり、従ってその同定が可能となる。レーザが自動的に対象エリアに向けられるようにした自動化位置合わせ方法が記載される。
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レーザ原子プローブ（１００）には、試料台および検出器（１０６）間に対極が配置され、対極（１０８）の開口（１１０）を通して試料（１０４）に照射を行うようビーム（１２２）が位置合わせされたレーザ（１１６）が設けられる。そして検出器および試料台（１０２）は、試料のイオン化のためにパルス駆動される。イオン出発時間および到着時間を定めるのにレーザパルスのタイミングを用いることで、イオンの質量／電荷比の決定が可能となり、従ってその同定が可能となる。レーザが自動的に対象エリアに向けられるようにした自動化位置合わせ方法が記載される。
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