【課題】光学顕微鏡を用いて、一つの立体的な試料に対して、焦点距離の異なる多数の画像を得、これらの画像を組み合わせて、全領域の焦点が合った１枚の２次元合成画像を得るため、試料の高さ情報を表示する３次元プロファイルマップの作成方法を提供する。
【解決手段】試料を異なる高さから撮像して、焦点部位の異なる２次元試料画像を得、離散ウェーブレット変換を行うことにより得られた詳細サブーバンドにおいて、最大の詳細サブーバンド係数値を示す画像の撮像高さで、初期の高さ地図を作成し、それぞれの入力画像において、焦点整合度を計算し、フィルターをかけて、非合焦点のピクセル（非境界点）の高さ情報は除去し、除去されたピクセル（非境界点）の高さを、フィルターを通過したピクセル（境界点）の高さ値から内挿して算出し、前記高さ情報の除去されたピクセルに対して前記内挿によって算出された高さを代入して高さ地図を作成する。 （もっと読む）