説明

ネクステック ソリューションズ, インコーポレイテッドにより出願された特許

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大型基板フラットパネル検査システムに関して、方法および装置が記載される。該方法は、電子シャッタを有する撮像装置を含む機械を用いて対象物を検査する方法であって、第一の位置と第二の位置との間の該対象物の表面にわたって該撮像装置を走査することと、少なくとも1つの発光ダイオードをストロボ発光して、該第一の位置と該第二の位置との間の該対象物を照明することと、該電子シャッタの動作を、該ストロボ発光された少なくとも1つの発光ダイオードと同期化することとを包含し、i)該少なくとも1つの発光ダイオードをストロボ発光することは、該機械上に位置する少なくとも1つのインデックスマークを用いて、該少なくとも1つの発光ダイオードを点灯することを含み、ii)走査することは、該第一の位置と該第二の位置との間で、該撮像装置を連続的に移動させることを含む。
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