無電極放電型極紫外線（ＥＵＶ）放射（１０）においては、高温高密度、一様、軸安定なプラズマ柱が、磁気圧力及び誘導電流駆動で効果的にまとめられている。本発明では、磁気ミラーに閉じ込められたプラズマのシータピンチ型の圧縮が用いられている。磁気ミラーに閉じ込められたプラズマは、共鳴磁気圧縮によって放射が生じるようになっている。本装置は、放射源ガス投入ノズル（１）と、任意のバッファガス投入フロー（２）と、ミラー磁場コイル（９ａ、９ｂ）と、シータピンチコイル（８ａ、８ｂ）と、プラズマ及びデブリ集積部（１１）と、排出ポート（７）とを備える。円電流により、軸安定なプラズマ磁場構造と、再現性があり安定で対称性の高いＥＵＶ源が得られる。
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