本発明は、走査型プローブ顕微鏡特に原子間力顕微鏡を備えた測定システムを動作させる方法に関する。また、走査型プローブ顕微鏡を使用する試料の検査および上記試料を光学的に検査する測定システムに関する。この方法において、光学的記録装置を用いて記録された、試料の測定対象部分の光学像は表示装置に表示される。続いて、上記光学像の位置が選択される。探針走査測定のために、試料と探針とを相対的に移動する移動装置を座標変換に応じて制御することによって、探針走査測定用に構成された探針を、座標変換により光学像上の被選択位置に関連付けられた測定位置に移動する。座標変換は、光学像上の座標系と、測定位置をその要素として含む空間であって試料に対して探針が取り得る位置の全体からなる空間の座標系とを関連付ける予め定められた座標変換である。
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本発明は測定対象を検査するための方法に関するものであって、測定対象（２，１２）は、走査プローブ型測定デバイスの測定プローブ（１０）を使用する走査型プローブ顕微鏡法によって検査され、かつ上記測定対象（２，１２）における少なくとも１つの小区分（１）は、光学的測定系に関連する観察領域において当該光学的測定系によって光学的に検査され、走査型プローブ顕微鏡法による上記検査によってもたらされる、上記測定対象（２，１２）における少なくとも１つの上記小区分（１）による上記観察領域の範囲外への変位は、上記測定対象（２，１２）における少なくとも１つの上記変位した小区分（１）が、上記変位を特徴付けるデータ信号を処理する再調整デバイスによって上記観察領域内に再配置されるといった手法によって補正される方法。
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本発明は、検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける、可動部の位置固定のための方法及び装置に関するものである。上記の方法によれば、上記可動部は作動部の支持により始動位置から端位置まで動かされる。上記作動部は駆動力を手段として動かされることにより上記可動部に結合され、上記可動部は、端位置において上記可動部を固定する上記可動部に連結された固定部の固定力によって固定される。固定力は上記固定部の少なくとも一部が媒体に浸されて、上記媒体が液状から固形状に変質することにより生じる。上記媒体は操作変数によって同様の媒体に作用することにより液状から固形状に変質される。 （もっと読む）

発明は、検査手順と、一番目の検査手順とは異なる他の検査手順とにより、検査試料の併用検査を行うための、検査試料、特に試料ホルダーを収容するための装置に関するものであり、検査試料が準備される準備表面を備えた透明な材料からなる平面の準備部材（１）を備えており、上記検査手順を実行するための検査設備の導入のための検査経路は、準備部材（１）の一方の側において形成されており、検査試料において上記他の検査手順を実行するための検査設備の導入のための他の検査経路は、準備部材（１）の反対側に形成されており、上記検査経路が形成されているアパチャー（５）を有した支持および被覆要素（３ａ）は準備部材（１）の一方の側に対して圧力が加えられる。
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