本発明は、特に基板を加工するための大気圧プラズマ（２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ）を生成する設備（１０）に関し、特にこの設備（１０）は、圧電材から成る装置（１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）を備え、この装置（１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）は、少なくとも１つの１次領域（１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）及び１つの２次領域（１３）を有し、低電圧の交流電圧を印加するための少なくとも２つの電極（１７ａ，１７ｂ，１７ｃ）が、この１次領域（１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）に配置されていて、電位差が、この２次領域（１３）の長手方向（Ｌ）に沿ってこの１次領域の励起に起因して生じる設備(１０)。この特徴は、特にこの２次領域（１３）が長手方向（Ｌ）に沿って反対方向に分極している２つの部分領域（１４，１４ａ、１４ｂ、１４ｃ，１５，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ）を有することにある。
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【課題】
簡単な製造の際に確実な予め決定できる作動態様が可能であるように、物品を処理する装置を再現すること。
【解決手段】
この発明は、物品の収容室（１３）が絶縁材料から成る一つの壁（１１，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ）により形成され、その室の外面（１５）には少なくとも二つの電極（１６ａ，１６ｂ）が配置されていて、物品の収容室内において放電によって物品（１４）を処理する装置（１０）に関する。この発明は、壁（１１）の内面（２０）には両外部電極に対して容量的に連結された少なくとも一つの逆電極（２１）が固定式に配置されていることを特徴とする。
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