【課題】ワークピースをクランプ解除するのに要する時間を短縮し、バリヤ物質によるダメージを防止する。
【解決手段】静電クランプを制御し、モニタしかつ最適化するシステムにより具体化される。コンピュータ１６、制御回路２２および少なくとも１つの増幅器２８が備えられる。また、信号評価回路２５を備え、制御回路の出力信号に検出信号を与えるために用いられる。信号評価回路は静電クランプの電気容量をモニタするために使用される検出信号を与え、さらに、信号評価回路は静電クランプの性能をモニタし、制御回路に対し性能情報を与える回路要素を含む。 （もっと読む）

例えば、空気（ガス）イオナイザによって発生された空気中のイオンの存在に起因する電流の測定によって正および負のイオン発生率、したがって、イオン濃度を同時にモニタするイオンバランスモニタである。加えて、このモニタは、上記電流を比較することによってイオンバランスを検査する。この方法によって得られた情報は、イオナイザのリアルタイムモニタに使用することができる。両極性のイオンのバランスおよび発生率は、イオナイザの種類にかかわらず、このイオンモニタによって記録することができる。このイオンモニタは、イオナイザを平行に保つために必要とされるフィードバック信号を与えることができる。 （もっと読む）