【課題】 薄膜形成用蒸着装置を提供する。
【解決手段】 本発明による薄膜形成用蒸着装置は、蒸着材料を加熱して蒸発させる蒸発源と、前記蒸発源から供給された気相の蒸着材料を移送する送り管と、前記送り管を開閉する開閉手段と、前記送り管に連結され、前記蒸着材料を基板に向けて噴射する噴射手段とを含んでなる。本発明によると、工程の進行によって、蒸着材料の供給を制御することができる。即ち、蒸着材料の供給が不要な場合、これを遮断することによって、蒸着材料の使用効率を極大化することができる。 （もっと読む）