【課題】送電経路及びデバイス帯電モデルの静電気放電試験を用いて、集積回路デバイスを試験するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】本方法は、システム１０の帯電送電経路５６からの静電気放電信号１５２の測定を行う段階と、システム１０の帯電送電経路５６及び該送電経路５６に接続された帯電集積回路デバイス１２からの静電気放電信号１６２の測定を行う段階と、静電気放電信号１５２と静電気放電信号１６２との間の差に基づいて、デバイス帯電モデル波形１８２の決定を行う段階とを有する。 （もっと読む）

【課題】傾斜スイッチにおける有害な水銀の使用を解消する。
【解決手段】水銀を無害なガリウム合金に置換する、カプセル封入されたスイッチが開示されている。一実施形態では、表面を電気的絶縁性無機非金属材料、例えばアルミナ、または硝酸ホウ素でコーティングすることにより、ハウジングの内側表面の湿潤化を防止する。別の実施形態によれば、パーフルオロカーボン液が湿潤防止剤として使用される。 （もっと読む）

【課題】誘電結合プラズマ高周波（ＲＦ）電源を実現するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】調節可能な作動周波数で高周波電力信号を発生する電力増幅器を含む電源を実現するためのシステム及び方法。電力増幅器はまた、高周波電力信号から導出される基準位相信号を発生する。インピーダンス整合器は、可変共振条件を有するプラズマコイルに高周波電力信号を供給する。位相プローブは、プラズマコイルに隣接して位置決めされ、調節可能作動周波数に対応するコイル位相信号を発生する。位相固定ループは、次に、基準位相信号とコイル位相信号の間の位相関係に基づいてＲＦ駆動信号を発生する。位相固定ループは、電力増幅器にＲＦ駆動信号を供給して調節可能な作動周波数を制御し、それによって調節可能な作動周波数は、次に、可変共振条件を追跡する。 （もっと読む）