説明

株式会社 エイブイシーにより出願された特許

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【課題】nAレベルのきわめて小さい電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析装置を提供する。
【解決手段】反射高速電子回析装置10は、真空チャンバーの内部に着脱可能に設置された蒸着源14a〜14cと、試料11に形成された薄膜に向かって電子線28を発射する電子銃15と、薄膜の表面において反射した反射電子から生成される反射電子像回析パターンを映し出す蛍光スクリーン18と、反射電子を電流増幅するマイクロチャンネルプレート17a,17bとを有する。反射高速電子回析装置10では、nAのレベルのエミッション電流値の電子線28を電子銃15から薄膜に向かって発射する。 (もっと読む)


【課題】nAレベルのきわめて小さいエミッション電流値の電子線を利用して反射電子像回析パターンを生成することができる反射高速電子回析方法を提供する。
【解決手段】反射高速電子回析方法は、蛍光スクリーン18の直前に配置されて反射電子を電流増幅するマイクロチャンネルプレート17a,17bを含み、nAのレベルのエミッション電流値の電子線28を電子銃15から薄膜表面に向かって発射し、マイクロチャンネルプレート17a,17bによって電流増幅された反射電子を蛍光スクリーン18に入射させ、反射電子から生成される反射電子像回析パターンを蛍光スクリーン18に映し出す。 (もっと読む)


【課題】所定の材料を真空チャンバー内部の任意の箇所に正確に搬送する真空フィードスルーを提供する。
【解決手段】真空フィードスルー10Aは、パイプ11とその内部空間に位置するシャフト12とパイプ11の外周面を長さ方向へスライド可能なマグネットスライダー13とシャフト12の後端部に取り付けたマグネットホルダーとを有し、パイプ11の内部空間前端部に取り付けたシャフト12を径方向中央に保持する固定ホルダーと、シャフト12の後端部に取り付けたシャフトを径方向中央に保持する移動ホルダーとを含み、固定ホルダーは、シャフト12の外周面をスライド可能に支持するスライドベアリングを備えた支持ハウジングを有し、移動ホルダーは、弾性変形可能なアームと、長さ方向へ回転可能なローラと、アームをパイプの内周面に向かって強制的に弾性変形させてローラをパイプの内周面に押し当てるテーパープラグとを有する。 (もっと読む)


【課題】覗き窓から真空装置の内部に光を進入させることができ、真空装置の内部を照らすことで覗き窓から真空装置の内部を視認することができる真空装置用照明器具を提供する。
【解決手段】真空装置用照明器具10Aは、覗き窓に連結手段を介して着脱可能に連結される連結アダプタ11と、連結アダプタ11の中央部に形成されて覗き窓をとおして真空装置の内部を視認可能な開口12と、連結アダプタ11に設置されて覗き窓に対向する複数個のLED13(発光ダイオード)とを有する。照明器具10Aは、真空装置の内部を視認するための覗き窓に取り付けられ、真空装置の内部を照らす。 (もっと読む)


【課題】チューブ全体を均一に加熱することができ、チューブの内周面に付着した材料を効率よく再蒸発させることができる蒸気案内管を提供する。
【解決手段】蒸気案内管10は、蒸着材料を収容し、その材料を加熱して材料の蒸気を発生させる坩堝12と、坩堝12をその内部に設置し、坩堝12から発生した蒸気を長手方向前方へ流動させるガラス管11と、ガラス管11の外周面を包被する金属管13とを有する。この蒸気案内管10では、所定の電気抵抗を有する透明導電性酸化スズ膜がガラス管11の外周面に成膜され、ガラス管11の外周面に所定の厚み寸法を有する電気抵抗薄膜を形成し、電気抵抗薄膜がその抵抗加熱によって発熱し、ガラス管11を所定温度に加熱する。 (もっと読む)


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