【課題】処理システムのオペレーションを制御する方法、及び実行された時にその処理システムを制御するための操作を実行するプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な媒体を提供する。
【解決手段】処理システムのオペレーションを制御する方法において、ホストコンピュータ、処理ツール、及び排気システムの構成要素、例えば排除ツールは、システムバスに接続される。排除ツールは、ホストコンピュータと処理ツールの間のシステムバス上に送信された信号と、処理ツールから直接受信された信号とをモニタする。排除ツールは、モニタされた信号内に含まれた情報を使用して、排除ツールのオペレーション特性に関する処理ツールのための信号を発生させる。この信号は、直接か又はシステムバス上のいずれかで処理ツールに送信され、処理ツールは、発生した信号を使用して処理ツールのオペレーション状態を制御する。 （もっと読む）

自動化方法を用いてポンプ速度を最適又は所望の速度に調整する装置が開示される。この装置は、チャンバに連結されていて、チャンバからガスを排出する真空ポンプを有する。センサがチャンバ内のガスの１つ又は２つ以上の特性、例えば圧力を測定する。測定された特性を所定値と比較する。真空ポンプの速度を比較結果に基づいて調節して、ついには真空ポンプ速度が所望の範囲内に収まるようにする。
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【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも３つの第１排気部分（１０６）、第２排気部分（１０８）、第３排気部分（１１０）を含み、第３排気部分（１１０）は、第１及び第２排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構（１１２）及び再生排気機構（１１４）からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素（１２０）は、再生排気機構のロータ要素（１２２）を取り囲む。 （もっと読む）

本発明は、容積移送式ドライポンプであって、複数個のポンプ輸送機構体を含む複数個の真空ポンプ輸送段を有し、ポンプ輸送機構体は、ポンプ輸送段を通して流体を高真空段のところのポンプ入口から低真空段のところのポンプ出口まで連続してポンプ輸送するために１本又は２本以上の駆動シャフトによって駆動され、ポンプは、駆動シャフトを回転運動可能に支持する軸受組立体を収容した潤滑チャンバを更に有し、駆動シャフトは、潤滑チャンバのヘッドプレートの開口部を通って高真空段から潤滑チャンバまで延び、ポンプは、段間パージポートを更に有し、ガスが段間パージポートを通って高真空段の下流側の段間場所のところでポンプに流入することができ、そしてガスは段間パージポートの下流側に位置した各真空ポンプ輸送段しか流通することができず、ポンプは、潤滑チャンバに設けられた潤滑チャンバパージポートを更に有し、パージガスがパージガス源から潤滑チャンバパージポートを通って流れることができ、段間パージポートは、潤滑チャンバ内のパージガスの圧力を制御し、それにより、使用中、ヘッドプレートの開口部を介する高真空段から潤滑チャンバへのポンプ輸送ガスの流通に抵抗するよう潤滑チャンバに連結されていることを特徴とするポンプを提供する。
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【課題】複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置(100)とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。
【解決手段】本発明のポンピング装置は、第１と第２の複合ポンプ(102,104)を有し、各複合ポンプは、第１入口(120,124)と、第２入口(122,126)と、第１と第２のポンピング・セクション(110,112)とを有する。ポンピング・セクションは、第１入口からポンプ内に入る流体が、第１と第２のポンピング・セクションを通り、第２入口からポンプに入る流体は、第２ポンピング・セクションのみを通る。第１ポンプ(102)の第１入口(120)は、第１低圧チェンバ(10)の出口に接続され、第１ポンプ(102)の第２入口(122)と第２ポンプ(104)の第１入口(124)は、第２の共通中圧チェンバ(16)の出口に接続され、第２ポンプ(104)の第２入口(126)は、第３高圧チェンバ(14)の出口に接続される。 （もっと読む）

本発明はプロセスチャンバからガスを送出するための真空ポンプを提供し、本ポンプは、ポンプチャンバで回転するための駆動軸により支持されるロータを含み、軸は、ポンプチャンバの、駆動軸に対して横方向に延びる壁内の軸ボアを貫通して延び、軸ボアを通るガスの通過に抵抗するための、軸と横方向壁との間に設けられるシール装置を含み、ロータが回転すると、ポンプチャンバの吸入口の低圧領域から、ポンプチャンバの出口の高圧領域にガスが送出され、また、ロータと横方向壁とは軸方向の間隙により離間されており、それに沿って、ガスの戻り漏れが高圧領域から低圧領域に流れることができ、さらにシール装置から離れて戻り漏れのための付加的な漏出経路が形成され、ガスは、それに沿って、シール装置に接触することなく流れることができ、その結果、ポンプの使用中にシール装置に接触するガスの量が低減される。 （もっと読む）

本発明は、シーグバーン・ポンプ機構（１４）と直列接続のターボ分子ポンプ機構（１２）を含む真空ポンプ（１０）を提供する。気体がターボ分子ポンプ機構及びシーグバーン・ポンプ機構の両方を通過することができる第１のポンプ入口（１６）が、設けられる。さらに、気体がターボ分子ポンプ機構とシーグバーン・ポンプ機構との間の場所においてポンプに入り、シーグバーン・ポンプ機構のみを通過することができる段間（入口）１８が、設けられる。段間入口（１８）と流体連通する、シーグバーン・ポンプ機構の第１の複数の段（３２、３４）内の流路（５２、６２）が存在し、段間入口を通ってポンプに入る気体は、前述の流路に沿って並行排気される。
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【課題】一般的なポンプ用途に広く使用できるような改良されたポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、スクロール圧縮機のためのスクロール壁の構造に関する。スクロール壁構造は、固定スクロール壁を有する固定スクロールと、旋回スクロール壁を有する旋回スクロールとから構成される。スクロール壁構造は、その半径方向外側部分に入口を備え、半径方向中央部分に出口を備える。旋回スクロール壁と固定スクロール壁とによって、入口から出口へと延びる第１の流路が形成され、入口から第１の圧力にて流入したガスは、第１の圧力に比べて高い圧力である、第２の圧力にて出口から排出される。スクロール壁構造は、第２の入口を備え、これを通ったガスは第３の圧力にて流入し、第２の流路を流れて、第２の圧力にて出口から排出される。従って、２つの流路によって、それぞれの入口が提供される。 （もっと読む）

本発明は、低真空段（１６）から高真空段（４４）まで流体連通状態にある複数個の質量分析計段（１６，１８，２０，４４）を含む質量分析計（１２）を有する質量分析システム（１０）を提供する。分割流多段ポンプ（１４）が質量分析計段を排気する。ポンプは、ポンプエンベロープ（２８）を有し、このポンプエンベロープ（２８）内では、複数個のポンプ輸送段（２０，３２，３４）が流体を主ポンプ入口（３６）から主ポンプ出口（３８）にポンプ輸送するために質量分析計段内における流れ方向にほぼ平行な軸線Ｘ回りに回転可能に支持されている。高真空段（４４）の少なくとも一部は、ポンプエンベロープ内で主ポンプ入口のところに配置されている。
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【解決手段】 本発明は、直列に接続された複数の真空チャンバー１４、１６、１８、２０と、チャンバーを差動的に排気するため真空排気装置１０とを含む真空システム１２を提供する。真空排気装置は、第１真空チャンバー１４を排気するために接続された吸気口２３と、大気に又は大気周辺に排気するための排気口２５とを有する一次ポンプ２２と、第２真空チャンバー１６を排気するために接続された吸気口２７と、一次ポンプの吸気口２３に接続された排気口２９とを有するブースターポンプ２４と、第３真空チャンバー１８、２０を排気するために接続された吸気口３１、３３と、ブースターポンプの吸気口２７に接続された排気口３５、３７とを有する二次ポンプ２６、２８とを含む。 （もっと読む）