【課題】三次元表面パターンを有するユニットを形成する方法及びこの方法の使用の提供。
【解決手段】ベース層３上に、第１処理ステップにてフォトレジストを適用。第２処理ステップにて、予め定められたマスキング露光１３をフォトレジスト層９に施す。第３処理ステップにて、フォトレジスト層９の一部を現像除去し、犠牲層領域２５を有する初期表面パターンを得る。第４処理ステップにて、初期表面パターンを覆うコーティング２９、３１を、好ましくは交代層システムとして、特にスパッタリング法で適用。第５処理ステップにて、犠牲層領域２５を不安定化させるため初期表面パターンにエネルギーを適用。第６処理ステップにて、初期表面パターンに予め定められた処理温度にて高圧液体ジェット３３を作用させ、それにて犠牲層領域２５を覆うコーティング２９の少なくとも一部を最終表面パターンを得るために機械的に除去、又は少なくともこじ開ける。 （もっと読む）

ワークピースキャリアが、鉛直な軸線（２）回りで回転可能な上方部分（１）と、ボルト（４）によって上方部分（１）に少し離れて連結された下方部分（３）とを備えたベースを具備する。各ワークピースホルダが、ワークピースのシャフトが挿入されうるダクト（１０）を囲む、ゴムのような弾性変形可能な材料のスリーブ（９）を具備し、スリーブ（９）はベース上の凹部（５）内に収容される。ベースの上方部分（１）及び下方部分（３）における孔（６、７）を通って延在する、スリーブ（９）の鉛直部分は、下方部分（３）における孔（７）を囲む凹状のリム（８）と、スリーブ（９）の下側に面する突出リム（１３）との間に形成されるストッパーによってそれぞれ固定される。シャフトは、押し込まれるように、レバー（１４）の圧縮面（１５）がスリーブ（９）を圧縮する作動位置にレバー（１４）を一つのボルト（４）回りで旋回させることによって固定され、且つ、圧縮面（１５）がスリーブ（９）に接触しない非作動位置に戻すようにレバー（１４）を旋回させることによって解放されうる。
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中央軸に沿って配置されており、および、円板（７）の周縁部全体にわたって均等に分布しておりかつ外向きに斜めに傾斜しておりかつ被加工物のために備えられているホルダ（８）を有する複数の円板（７）が、各々の場合に、円板（７）を取り囲むリング（５）の上に支持されている。連続するリング（５）は、円板（７）の望ましくない塗装を防止する概ね円筒形の金属被覆板を形成する。この金属被覆板は、円板（７）のホルダ（８）のための開口部のグループを有し、これらの開口部は同一の高さにおいて周縁部全体にわたって均等に分布しており、かつ、これらの開口部の各々は、円板（７）を保持するリング（５）内の上部凹み（１４）と、後続のリングの隣接する下部凹み（１５）とによって形成されている。連続するリング（５）の間の境界線（１７）が、各々の場合に、互いに隣接する開口部を隔てるウェブの最も狭い箇所の幾分か下方で始まり、したがって、下部凹み（１５）は、各々の場合に、リング（５）の端縁に向かって狭まることがなく、および、上部凹み（１４）は、被加工物搬送台が困難なしに底部から頂部にアセンブリされることが可能であるように多くともわずかに狭まる。
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ワーク搬送体（２）は、ロータリフレーム（３）と駆動部（２２）とを具備し、双方とも駆動軸（４）に対して回転可能である。前記ロータリフレーム（３）は、モータ（６）によって駆動され、ホルダ軸に対して回転可能なように駆動軸（４）周りに配設されている複数のワーク支持体（１３）を搬送する。駆動部（２２）に搭載されている取付部には、前記駆動軸（４）からの偏心距離にある出力ポイント（２９）の中央において、固定型中央ホイール（２１）と変速部（２６）のリングギヤ（２７）と噛合うピニオン（２５）が取り付けられる。ワーク支持体（１３）の駆動ピン（１９）を介して、変速部（２６）上の駆動開口部（２８）は、前記ホルダ軸から偏心距離にある。ロータリフレーム（３）の回転に際し、駆動部（２２）は駆動軸（４）を中心とし、さらに変速部（２６）に負荷をかけ、前記ロータリフレーム（３）に付随的に回転し、出力ポイント（２９）が駆動軸（４）周りに円運動するように偏心動作をなす。その結果、ワーク支持体（１３）が対応して回転する。
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電解質で満たされた槽（２）の上方において、取り外し可能なホルダ（５）に、鉛直の回転軸線を中心に回転可能な、工作物支持部（１５）を取り付けるためのカップリング（７）が配置されており、その工作物支持部（１５）に、例えば不適切にコーティングされた、または磨耗した工作物（１８）を装着することができる。工作物支持部は、カップリング（７）を介して電流供給装置と接続されており、電流供給装置の反対の極に対向電極（１２）が接続されている。槽（２）内には、加熱および冷却装置（１３）と超音波発生器（１４）も配置されている。電流を供給し、同時に回転させることにより、工作物支持部（１５）および／または工作物（１８）が、コーティングを除去される。不適切なコーティングの後に、工作物（１８）を工作物支持部（１５）と共に、かつ場合によってはホルダ（５）と共に、コーティング設備から直接取り出すことができ、コーティングを除去した後に新規にコーティングするために、当該コーティング設備へ移動させることができる。
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工作物支持体（２）は、回転台（３）と駆動部分（２０）を有しており、それら両者が駆動軸（４）を中心に回転可能である。回転台（３）は、モータ（６）によって駆動可能であって、かつ駆動軸（４）の回りに分配された、主軸を中心に回転可能な複数の工作物ホルダ（１３）を有している。駆動部分（２１）の駆動ディスク（２２）は、それぞれ係止点（２３）を中心に回転可能であって、その中心点は係止点から偏心率（Ｅ）だけ離れている。駆動ディスク（２２）を収容する、結合切欠きを有する伝達部分（２５）が、駆動開口部（２６）を有しており、その駆動開口部を通して工作物ホルダ（１３）の駆動ピン（１９）が突出しており、その駆動ピンは同様にホルダ軸から偏心率（Ｅ）だけ離れている。駆動部分（２０）は、回転台（３）の回転によって、基台（１）に固定された中間トランスミッション（３１）を介してより大きい角速度で駆動することができる。複数の工作物支持体の回転台は、それ自体回転可能な基台上に軸承することができ、かつ位置固定の歯車と係合することによって回転することができる。
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本発明は、絶縁レイヤを堆積する方法及び低温コーティングの方法に関するものである。このために、アーク供給源のターゲット表面上において点火又は作動する電気スパーク放電に対して、直流とパルス又は交流電流によって同時にエネルギー供給している。又、本発明は、ターゲットが、少なくとも１つのパルス高電流源（１８、１８’）及び別の電源（１３’、１８’’）、或いは、組み合わせ回路技術によって設計された電源（２１、２１’、２２）である電源に接続されているアーク供給源に関するものである。
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