加水分解性ケイ酸塩オリゴマーである前駆体製剤を基板上にコーティングし、塩基、水、及びオリゴマーの加水分解を抑制する抑制剤を含む気体雰囲気において硬化することにより作製されるシリカ又はシリカ様フィルムの形態の制御方法を提供する。 （もっと読む）