光学素子を製造する方法は、導波路コア材料(1)のコアパターンをベース層(3)上に設けるステップと、コア材料(1)およびベース層(3)の上にクラッド層(2)を設けるステップとを具える。ベース層(3)の上のクラッド層(2)の表面高さは、コア材料(1)のパターンに依存して変化する。コアパターンは、少なくとも２つの基準領域を有するように設計され、各基準領域は、各基準領域上に所定の高さｈ１を有するクラッド層(2)のピークを提供するように選択された幅ｗを有する。コアパターンは、更に、基準領域のピークを結ぶ線がそれらの間に介在するクラッド層のピークよりも高くなるように設計されることよって、基準領域のピークは垂直のアライメント基準を提供する。
（もっと読む）